一种低噪声MEMS电容式加速度传感器的设计

• 作者: 周岩 孙风光 李彦哲 李金平
• 来源期刊: 科技创新导报
• 学科: 工学
• 关键词: 低噪声 差分电容 MEMS 加速度传感器
• 年，卷（期）: 2019,（12）
• 所属期刊栏目: 工业技术
• 页码范围: 105,107
• 页数: 2页
• 分类号: TP212
• 字数: 2177字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16660/j.cnki.1674-098X.2019.12.105

摘要

基于差分电容原理和MEMS技术,设计了一种低噪声MEMS电容式加速度传感器.该加速度传感器包括一个敏感芯片和一个采用变送集成技术的信号调理电路.通过优化敏感芯片的结构和低噪声的信号调理电路相结合,制作出加速度传感器.利用MEMS技术制作的微结构封装的加速度传感器经过测试,验证了该传感器具有高灵敏度,高分辨率和低噪声特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周岩		5	6	1.0	2.0
2	李彦哲		3	12	1.0	3.0
3	李金平		7	14	2.0	3.0
4	孙风光		4	9	2.0	3.0