多晶硅还原尾气回收工艺的优化

• 作者: 李超 沈琛
• 来源期刊: 化学工程
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 尾气回收 吸收 氯硅烷
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 化工工艺
• 页码范围: 74-78
• 页数: 5页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 3393字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9954.2020.02.015

摘要

阐述了多晶硅还原尾气回收的主要工艺过程,并用Aspen大型过程模拟软件进行了模拟优化,在分析讨论干法回收工艺存在的主要问题的基础上,对现有工艺进行了优化改进.将作为吸收剂的氯硅烷在吸收塔的进料温度从-40℃降至-50℃,HCL解析塔塔顶气液相混合出料改为气相出料,同时增加解析塔换热器,减少了作为吸收剂的氯硅烷循环量,热量利用更加合理,能耗显著下降,大大降低了回收成本,同时回收氢气中杂质质量分数从11.14％减少至5.99％,降低了吸附塔操作负荷,提高了回收氢气品质,有利于多晶硅产品质量的稳定;同时将HCL的回收率从96.61％提高到99.98％,降低了氯耗;与此同时,大幅度降低了冷、热负荷的消耗且采用低品位蒸汽取代高品位蒸汽,节能降耗效果十分明显.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈琛		2	0	0.0	0.0
2	李超		1	0	0.0	0.0