超导高频铜腔镀铌研究进展

• 作者: 张沛 董海义 马永胜
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铌薄膜 铜腔镀铌 超导高频腔 溅射 超导
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 255-261
• 页数: 7页
• 分类号: TL503.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2020.03.13

摘要

随着粒子加速器超导高频技术的发展,超导高频腔的加速梯度与Q0值已接近纯铌材料的极限.然而,相比纯铌材超导高频腔,铜镀铌腔具有热稳定性高、机械稳定性高、对于直流磁场不敏感、RF性能和热性能可分离、优化的BCS电阻等优点.但目前铜镀铌腔在中等加速梯度(10～15 MV/m)下有较为严重的Q值下降,而且随超导腔的频率增加其下降趋势增大.近年来,镀膜超导高频腔的研究热点主要集中在:①通过采用能量更高的沉积技术,如:高功率脉冲磁控溅射、阴极电弧法、电子束等离子体蒸镀法、激光脉冲沉积等方法,降低薄膜内缺陷,提高薄膜的致密度,薄膜与衬底的结合力;②通过研究薄膜中氧、氢等杂质含量对表面剩余电阻等的影响,进而分析引起Q值下降的原理;③研发性能更优的多层膜结构以及新型沉积方法等.铜镀铌腔在LEP、LHC等粒子加速器中已经得到应用,并且稳定运行多年,证明其工程应用的可靠性与实际意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张沛	中国科学院高能物理研究所	23	113	7.0	10.0
2	马永胜	中国科学院高能物理研究所	5	4	1.0	2.0
6	董海义	中国科学院高能物理研究所	14	13	2.0	3.0