基于聚磁结构磁场传感器特性研究

• 作者: 宋灿 柳微微 温殿忠 赵晓锋
• 来源期刊: 黑龙江大学工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁场传感器 硅磁敏三极管 聚磁结构 MEMS技术
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 电子与机电工程
• 页码范围: 52-60,96
• 页数: 10页
• 分类号: TP212.13
• 语种: 中文
• DOI: 10.13524/j.2095-008x.2020.04.053

摘要

给出由硅磁敏三极管和两个聚磁结构构成的磁场传感器.聚磁结构为镍铁合金材料制作的梯形结构,可放大外加磁场,硅磁敏三极管能够实现外加磁场测量,聚磁结构改善了磁场传感器磁灵敏度特性.利用ANSYS有限元软件构建了聚磁结构仿真模型,研究了结构尺寸对聚磁性能的影响,在此基础上采用电火花技术制作了聚磁结构,同时采用MEMS技术在p型高阻单晶硅上设计、制作了磁敏三极管芯片,利用微电子封装工艺实现了磁敏三极管和聚磁结构的无磁化封装.当电源电压VDD=5.0 V、集电极负载电阻RL=2.3 kΩ、基极注入电流Ib=8.0 mA时,在室温下且磁场范围为-80 mT～+80 mT,基于聚磁结构磁敏三极管磁灵敏度为926 mV/T.实验结果表明,聚磁结构提高了磁灵敏度约3.5倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温殿忠		51	330	10.0	15.0
2	赵晓锋		27	123	8.0	10.0
3	柳微微		2	0	0.0	0.0
4	宋灿		1	0	0.0	0.0