双轴电热机械MEMS微镜的驱动臂交叉耦合模型

• 作者: 李剑敏 杨亮亮 胡斌
• 来源期刊: 浙江理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS微镜 电热驱动 交叉耦合 电热机械建模
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 机械与自动控制
• 页码范围: 349-355
• 页数: 7页
• 分类号: TP215
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3851(n).2020.03.009

摘要

根据双轴电热机械MEMS微镜的热力学、机械振动、频率响应和光学动态扫描图形分析,考虑驱动臂轴间交叉耦合情况,建立了双轴电热机械MEMS微镜的驱动臂交叉耦合模型.通过Matlab/Simulink对微镜系统模型进行仿真,并模拟了双轴电热机械MEMS微镜单个驱动臂和两个驱动臂的光学动态扫描模式.将仿真图形与双轴电热机械MEMS微镜动态扫描的实际情况进行对比,结果表明该模型有效仿真出双轴电热机械MEMS微镜的光学动态扫描模式,达到预测该微镜光学动态扫描图形的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨亮亮		43	168	7.0	10.0
2	李剑敏		43	160	7.0	11.0
3	胡斌		3	0	0.0	0.0