平面型乙醇快速响应气敏传感器的制备

• 作者: 宁湫洋 李万程
• 来源期刊: 高等学校化学学报
• 学科: 化学
• 关键词: 乙醇 In2O3 纳米复合材料 InN
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 所属期刊栏目: 无机化学
• 页码范围: 1745-1752
• 页数: 8页
• 分类号: O614|TP212
• 字数: 4818字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7503/cjcu20200110

摘要

采用水热法合成了纳米In2 O3颗粒,将其旋涂于陶瓷基片上经氮化处理获得InN基片,再对InN基片进行氧化,合成出气敏材料并在一种微型平面电极片上制备了传感器件.采用扫描电子显微镜(SEM)、 透射电子显微镜(TEM)、X射线衍射(XRD)仪、X射线光电子能谱(XPS)等手段对材料的形貌、 组成进行了表征与分析,结果表明,最终获得了松枝状结构的InN-In2 O3纳米复合材料.对器件的气敏性能进行了测试,发现基于此材料制备的平面型气敏传感器对乙醇气体具有良好的气敏性能:检测浓度为1.025 mg/m3(500 ppb)的乙醇蒸汽的灵敏度可达18;检测2.05 mg/m3(1 ppm)的乙醇的响应-恢复时间最快仅为1 s;最佳工作温度低,仅为50℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李万程	吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室	13	131	4.0	11.0
2	宁湫洋	吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室	1	0	0.0	0.0