音叉式AFM探针针尖与表面接近特性的研究

• 作者: 施慧 沈小燕 高思田 黄鹭
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 原子力显微镜 接近曲线 Simulink 音叉探针
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 页码范围: 524-528
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 3731字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2020.05.03

摘要

基于音叉式探针的特性,建立了探针针尖与样品表面接近过程中的动力学方程,并利用Simulink软件模拟了该过程中探针悬臂振幅响应情况.搭建了基于音叉探针的接近曲线检测装置,使用位移系统控制程序和锁相放大器数据采集程序,在调幅模式下获得探针在不同激励电压下的接近曲线,在调幅模式下获得探针在不同激励电压下的接近曲线,探针在25,50,75,100 mV的激励下,工作距离分别为4.12,5.1,5.95,7.6 nm,结果与仿真相符.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高思田		93	567	11.0	19.0
2	沈小燕	中国计量大学计量测试工程学院	33	95	5.0	8.0
3	黄鹭		13	16	2.0	3.0
4	施慧	中国计量大学计量测试工程学院	2	0	0.0	0.0