采用AFM研究单晶硅纳米加工特性

• 作者: 孙涛 董申 闫永达
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 原子力显微镜(AFM) 单晶硅 塑性加工 纳米加工
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳米材料及特性
• 页码范围: 349-351
• 页数: 3页
• 分类号: TG501.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.122

摘要

为获得AFM金刚石微探针在纳米尺度上加工脆性材料的加工特性,在AFM系统上对单晶硅表面进行了刻划、加工实验.实验结果与宏观车削加工结果进行了对比,得出在纳米尺度上进行的加工属塑性域加工.采用AFM金刚石微探针加工硅表面的加工质量主要受材料残留高度和形成的切屑在已加工表面的粘结两个因素影响.验证了AFM作为一种加工工具,受其刻划方向的影响,可以很容易地实现纳米量级材料的去除,得到厚度为数个纳米的切屑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董申		232	4378	35.0	50.0
2	孙涛		124	1024	17.0	23.0
3	闫永达		34	237	9.0	13.0