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基于PMAC的光刻机隔振试验台控制系统的设计
开放式数控系统
PMAC
运动控制器
同步控制
光刻机掩膜台微动台调平控制系统设计
三自由度调平控制
DSP TMS320C6414
掩膜台
光刻机
PMAC运动控制器在光刻机控制系统中的应用
可编程多轴运动控制器
光刻机
可编程序控制器
光刻机中光强和位置信号频谱分析的仿真
光刻机
频谱分析
噪声
仿真
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 造一台尖端光刻机
来源期刊 创意世界 学科 经济
关键词 感光元件 供应商 光刻机 高端手机 纪念版 小米 国产品牌
年,卷(期) 2020,(9) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1
页数 1页 分类号 F42
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 管文明 9 0 0.0 0.0
传播情况
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引文网络
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参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
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二级引证文献  (0)
2020(0)
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研究主题发展历程
节点文献
感光元件
供应商
光刻机
高端手机
纪念版
小米
国产品牌
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
创意世界
月刊
1674-5256
CN 11-5788/N
北京市海淀区西土城路6号
出版文献量(篇)
7114
总下载数(次)
26
总被引数(次)
0
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