激光制备高附着性能的铜基类金刚石膜

• 作者: 奚琳 曹海源 王赛 程勇 米朝伟 陆益敏 黄国俊
• 来源期刊: 国防科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铜基类金刚石膜 脉冲激光沉积 临界载荷 纳米硬度 耐磨性
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程·电子科学与技术
• 页码范围: 68-73
• 页数: 6页
• 分类号: TH145.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.11887/j.cn.202005010

摘要

提升类金刚石(Diamond-Like Carbon,DLC)膜在被保护基底上的附着能力具有明显的实际应用价值.从微观机理上分析了前期设计的Cu基多层DLC膜有效性的原因.在此基础上,研究了DLC/SiC循环层中两者厚度比例对膜层的附着性能、纳米硬度和耐磨性的影响,以优化结构、进一步提升实际应用所需的膜层性能.纳米划痕和压痕测试结果表明:随着DLC层与SiC层厚度比例的增大,多层DLC膜在Cu基上附着性能逐渐降低,但当厚度比小于2.3时,仍接近厚度400 nm的单层DLC膜在Si基上的附着性能;Cu基多层DLC膜的纳米硬度逐渐提高,同时,耐磨性接近纯DLC膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆益敏		1	0	0.0	0.0
2	黄国俊		1	0	0.0	0.0
3	米朝伟		1	0	0.0	0.0
4	奚琳		2	0	0.0	0.0
5	王赛		1	0	0.0	0.0
6	曹海源		1	0	0.0	0.0
7	程勇		1	0	0.0	0.0