Mg掺杂对ZnO基体声波谐振器性能的影响

• 作者: 何琼 桂丹 郑丹
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜体声波谐振器 温度频率系数 传感器 机电耦合系数
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 分类号: TN44
• 语种: 中文

摘要

文中利用Mg掺杂ZnO压电膜制备了薄膜体声波谐振器,在较低浓度Mg掺杂时,器件机电耦合系数有微弱增大;当掺杂浓度过高时,机电耦合系数呈下降趋势.当掺杂Mg元素质量分数为2.23％时,器件在20～100℃内的温度频率系数为-26.0 ppm/℃,比之前纯ZnO基薄膜体声波谐振器的温度频率系数值-69.5 ppm/℃下降了很多.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑丹		26	32	3.0	4.0
2	何琼		32	123	7.0	10.0
3	桂丹		6	2	1.0	1.0