单根Sb掺杂ZnO微米线非平衡电桥式气敏传感器的制作与性能

• 作者: 冯秋菊 李昀铮 梁红伟 王德煜 石博 董增杰 解金珠 高冲
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 化学气相沉积 Sb掺杂ZnO微米线 非平衡电桥 气敏传感器
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 273-279
• 页数: 7页
• 字数: 3524字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.69.20191530

摘要

通过使用化学气相沉积法,成功制备出超长、大尺寸的Sb掺杂ZnO微米线.基于非平衡电桥原理,利用单根Sb掺杂ZnO微米线作为非平衡电桥的一个桥臂,制作出了可以在室温环境下工作的气敏传感器原型器件.结果表明:室温下测得该传感器对20,50,100和200 ppm(1 ppm=10–6)不同浓度的丙酮及乙醇气体的响应-恢复曲线均呈现为矩形形状,在空气及被测气体中均有稳定的电流值,并随着探测气体浓度的增大,器件的响应值也在逐渐增加.此外,还发现器件对丙酮气体具有更好的选择性,当丙酮气体浓度为200 ppm时,该传感器的响应时间为0.2 s,恢复时间为0.3 s,响应度高达243％.通过与普通电导式气敏传感器对比发现,采用这种非平衡电桥结构传感器可以明显地提高响应度,使响应和恢复时间更快.此外,还研究了器件的气体探测机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁红伟	大连理工大学微电子学院	21	81	6.0	8.0
2	冯秋菊	辽宁师范大学物理与电子技术学院	8	8	2.0	2.0
3	李昀铮	辽宁师范大学物理与电子技术学院	2	0	0.0	0.0
4	石博	辽宁师范大学物理与电子技术学院	2	0	0.0	0.0
5	王德煜	辽宁师范大学物理与电子技术学院	1	0	0.0	0.0
6	高冲	辽宁师范大学物理与电子技术学院	1	0	0.0	0.0
7	董增杰	辽宁师范大学物理与电子技术学院	1	0	0.0	0.0
8	解金珠	辽宁师范大学物理与电子技术学院	1	0	0.0	0.0