曲面压电厚膜电流体喷印制备研究

• 作者: 姜重阳 宗浩然 王大志 王柱 袁钰恒 赵奎鹏
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电流体 喷印 PZT厚膜 压电
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 45-46,200
• 页数: 3页
• 分类号: TP334.8
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2020.09.014

摘要

压电厚膜作为功能部件被广泛应用在传感、执行器件中,主要为平面膜结构.但在医学中的聚焦超声换能器、海洋中的水听器等,需要应用曲面压电陶瓷厚膜以实现能量聚焦、信号放大.基于电流体喷印技术研究曲面压电厚膜的制备工艺,设计搭建了曲面电流体喷印装置,可以实现半球面及柱面厚膜的制备.并基于该装置,以含有PZT溶胶和PZT颗粒的PZT复合浆料,制备了厚度约为70μm的半球面PZT厚膜.通过扫描电镜观察烧结退火后的半球面厚膜,结果表明厚膜无明显缺陷.