双离子束溅射制备近红外窄带通滤光片的光谱和表面形貌

• 作者: 陈刚 刘定权 马冲 王凯旋 张莉 高凌山
• 来源期刊: 光学学报
• 关键词: 薄膜 离子束溅射沉积 窄带通滤光片 表面形貌
• 年，卷（期）: 2020,（21）
• 所属期刊栏目: 薄膜|Thin Films
• 页码范围: 206-212
• 页数: 7页
• 分类号: O439|O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202040.2131001

摘要

为了观测大气层中的水汽含量以及CH4和CO2的浓度,在蓝宝石(Al2O3 )基片上制备了两种窄带通滤光片,其中心波长分别为1375 nm和1610 nm,带宽分别为15 nm和60 nm,透过率均达到了95％.基于法布里-珀罗腔结构设计了带通滤光膜系,并对其进行了优化.与电子束蒸镀薄膜相比,采用双离子束溅射沉积方法制备的Nb2O5/SiO2滤光片薄膜,其表面质量明显改善,缺陷减少,表面粗糙度均方根降低到1 nm以下,显著改善了与光电探测器光耦合时的不均匀性.