集成电路制造工艺实验流程仿真实验研究

• 作者: 张明 武瑞红 王保柱
• 来源期刊: 科技风
• 关键词: 集成电路 工艺 仿真
• 年，卷（期）: 2020,（20）
• 所属期刊栏目: 电子信息
• 页码范围: 101
• 页数: 1页
• 字数: 154字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19392/j.cnki.1671-7341.202020079

摘要

仿真实验教学是信息时代教育改革发展的必然要求,也是教育技术现代化和实践实验信息化的重要特征.本论文设计开发了一套集成电路工艺实验流程仿真实验软件,可以在计算机上进行完成一些需要昂贵仪器、有一定危险的实验项目.虚拟仿真技术在实验教学的综合应用,是增强学生实践能力和提高学生就业竞争力的重要手段和方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王保柱	河北科技大学信息工程学院	12	31	3.0	5.0
2	张明	河北科技大学信息工程学院	18	57	3.0	7.0
3	武瑞红	河北科技大学信息工程学院	6	12	1.0	3.0