提高多芯片拼接线性度的新方法

• 作者: 高慧莹 左宁 艾博
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 芯片拼接 预定位 直线度 平行度
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 测试·测量技术与设备
• 页码范围: 15-19
• 页数: 5页
• 分类号: TN405.97
• 语种: 中文

摘要

为实现多芯片集成高精度拼接,对芯片拼接线性度进行了深入研究,提出了一种保证高精度芯片集成拼接方法.通过CCD图像匹配、识别定位每个芯片的实际位置坐标,根据已经拼接完成的芯片位置坐标拟合,进行芯片逐步预定位,及时纠偏,拼接完成后进行每一行芯片的直线度和行与行之间平行度的检测,介绍了芯片集成拼接工艺流程和拼接方法,并对检测算法进行了仿真分析,实例验证,证明该拼接方法的可行性.