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透明导电薄膜(I):掺杂透明导电氧化物薄膜
透明导电薄膜(I):掺杂透明导电氧化物薄膜
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摘要：
透明导电氧化物薄膜具有良好的光电性能.作为前电极,此类半导体材料薄膜广泛应用于半导体器件.本文以典型的掺杂TCO薄膜为切入点,综述了透明导电氧化物薄膜的发展历史及应用,重点阐述了几种典型掺杂TCO薄膜的结构特征、光电特性、制备方法及应用展望.
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溶胶-凝胶法
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透明导电氧化物薄膜(TCO)
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透明导电氧化物薄膜
掺杂
结构特征
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辽宁科技大学学报
主办单位：
辽宁科技大学
出版周期：
双月刊
ISSN：
1674-1048
CN：
21-1555/TF
开本：
大16开
出版地：
辽宁省鞍山市高新技术产业开发区千山路185号
邮发代号：
创刊时间：
1979
语种：
chi
出版文献量（篇）
2893
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