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摘要:
通过金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)方法在蓝宝石衬底上生长了MgZnO薄膜,结合光刻和聚苯乙烯(PS)小球模板技术,制备了基于Ag微孔阵列电极结构的MgZnO紫外探测器.与基于常规金属薄膜电极的器件相比,基于微孔阵列叉指电极的MgZnO基紫外探测器的光电流提高近6倍,同时其暗电流和响应时间基本保持不变.通过紫外-可见透射光谱和电学性质等表征,讨论了Ag微孔阵列结构电极对MgZnO薄膜紫外光电探测性能的影响机制.本研究为制备高性能紫外探测器提供了一条可行的途径.
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文献信息
篇名 基于Ag微孔阵列结构电极的MgZnO紫外探测器制备和特性
来源期刊 发光学报 学科
关键词 MgZnO 紫外探测器 聚苯乙烯 微孔阵列
年,卷(期) 2021,(2) 所属期刊栏目 器件制备及器件物理|Device Fabrication and Physics
研究方向 页码范围 201-207
页数 7页 分类号 O472+.8|TN36
字数 语种 中文
DOI 10.37188/CJL.20200362
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聚苯乙烯
微孔阵列
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1970
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