透明导电薄膜(Ⅱ):多元透明导电氧化物薄膜

• 作者: 闫彩波 周艳文 王鼎 杨东明
• 来源期刊: 辽宁科技大学学报
• 关键词: TCO薄膜 多元组份 结构 禁带宽度 光电性能
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 161-170
• 页数: 10页
• 分类号: TB303
• 语种: 中文
• DOI: 10.13988/j.ustl.2021.03.001

摘要

透明导电薄膜具有可见光区透光及一定的导电性,包括金属基、氧化物基及其他化合物基透明导电薄膜等.以多元氧化物基透明导电氧化物(TCO)薄膜为对象,综述其组份、组织、相结构、禁带宽度、光电性能等方面的研究进展,并对多元和掺杂TCO薄膜的光电性能进行比较.