基于光纤干涉投影的子孔径拼接测量方法

• 作者: 相超 王道档 窦进超 孔明 刘璐 许新科
• 来源期刊: 中国计量大学学报
• 关键词: 计量 面形测量技术 光纤干涉投影 子孔径拼接 大动态范围
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 计量与测试|Metrology and Measurement
• 页码范围: 154-160
• 页数: 7页
• 分类号: TH741
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2096-2835.2021.02.002

摘要

目的:针对大动态范围复杂曲面的面形检测需求,提出了一种基于光纤干涉投影的子孔径拼接测量方法.方法:通过CCD相机与干涉条纹间的关系作为子孔径划分的依据,利用光纤干涉投影测量系统采集各子孔径的面形数据,由此结合所提出的加权算法将各子孔径进行拼接来获取全口径面形.结果:仿真分析与实验验证表明,通过所提出方法获取的拼接面形连续光滑,且与全口径真实面形RM S值偏差为1.8458μm,达到了微米量级的检测精度.结论:该测量方法具有检测精度较高、动态测量范围大等特点,从而为各类复杂曲面提供了一种有效的面形检测方法.