表面预处理对钛合金表面低温等离子体氮化的影响

• 作者: 李金龙 滕越 张开策 郭媛媛 吕哲 王亚男 周艳文 李春福
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 关键词: 钛合金 低温等离子体氮化 酸洗复合等离子体预处理 摩擦学 显微硬度
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 132-138
• 页数: 7页
• 分类号: TB79
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202004036

摘要

为提高TC4钛合金表面摩擦学性能,探究酸洗及等离子体预处理对TC4钛合金表面低温等离子体氮化进程的影响.首先采用热丝增强等离子体氮化系统分别对表面酸洗及未酸洗TC4钛合金在氩气气氛下进行等离子体预处理,然后对各种表面预处理的TC4钛合金实施低温(500℃)等离子体氮化.采用扫描电子显微镜、能谱仪及X射线衍射仪分别分析了试样的截面形貌、氮势分布和物相组成;采用显微硬度计、摩擦磨损仪和轮廓仪测试氮化后TC4钛合金表面的显微硬度、磨痕曲线和摩擦系数,并计算了磨损量.结果 表明:低温氮化后TC4钛合金基体组织形貌不变,表面获得厚度约10μm的氮化层.氮化后TC4钛合金的XRD衍射峰均向低角度偏移,表明形成含氮固溶体相.其中酸洗复合30 A等离子体预处理的TC4钛合金氮化后,XRD衍射峰向低角度偏移最明显,偏移量达0.2 °.与基体相比,酸洗复合30 A等离子体预处理的TC4氮化表面显微硬度提高至691 HV,磨损量仅为基体的16％.酸洗复合等离子体预处理有效去除TC4钛合金表面氧化层、粗化表面,促进低温等离子体氮化进程,有利于含氮固溶体相形成,从而提高其表面摩擦学性能.