一种宽量程MEMS组合加速度计的设计与优化

• 作者: 赵耀 张伟
• 来源期刊: 传感器世界
• 关键词: MEMS加速度计 零位漂移 补偿算法
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 技术与应用|Technology & Application
• 页码范围: 10-17
• 页数: 8页
• 分类号: TN379
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2021.06.004

摘要

为满足大量程低温漂的MEMS加速度计性能需求,研制了一款宽量程MEMS组合加速度计,并完成了量程、线性度、交叉耦合、分辨率性能参数的测试.针对加速度计在高低温工作环境中的零漂过大的问题,分析了影响因素,设计了一种零位温度补偿算法给出解决方案.实验结果表明:零位温度补偿算法实现了加速度计在-45～+85℃温度范围内零点漂移小于3 mV,满足项目需求.