硅烷法制备多晶硅工艺的热力学分析

• 作者: 刘强强
• 来源期刊: 氯碱工业
• 学科: 工学
• 关键词: 硅烷 多晶硅 热力学 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2021,（12）
• 所属期刊栏目: 产品|Products
• 页码范围: 24-26,29
• 页数: 4页
• 分类号: TQ127.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-133X.2021.12.006

摘要

根据吉布斯自由能理论,对硅烷法制备多晶硅工艺进行了热力学分析,研究了化学气相沉积过程中温度对硅棒生长速度、物理特性及单位能耗的影响,为硅烷法制备多晶硅工艺参数的调整提供了科学依据.