多晶硅还原工艺的流程模拟与优化研究

• 作者: 武旭飞 韩林冲
• 来源期刊: 内蒙古煤炭经济
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 还原工艺 流程模拟 优化研究
• 年，卷（期）: 2021,（19）
• 所属期刊栏目: 工作研究与理论探讨
• 页码范围: 38-39
• 页数: 2页
• 分类号: TQ127.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0155.2021.19.020

摘要

对于多晶硅氯硅烷研究而言,需要建立两个化学气象沉淀系统并以此作出反应模型,才能提高整体研究力度和质量.目前主要的气象沉淀模型包括氢气沉淀模型和三氯氢硅系统模型.通过建立模型结合Chemkin4.0耦合气相反应和表面反应的原理,将其融入进流体软件后,做出数值求解工作,选择的流体力学软件为Fluent6.3.26.对于之前建立的氢气系统沉淀模型和三氯氢硅系统主要目的是为了确定相应的化学气象沉淀机理,以此探讨出吉布斯自由能和平衡常数,从而判定出相应的气象沉淀反应机理,在计算过程中我们发现此类算法可以计算出八类气象组分平衡分压,通过每类的对比可以计算出三氯氢硅的转化率,还可以计算出多晶硅的回收率.后续结合相应的力学软件将其内容模型与氢气、三氯氢硅的系统化学气象模型做出模拟工作,按照相关提示以此分析出平衡数据和温度具体走向以及速度分布,最终得出二者的转化率.