蝶翼式振动加速度传感器设计与制造

• 作者: 李凯 单恒 蒲金飞 陈伟琪 吴学忠 侯占强
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 关键词: 振动传感器 加速度 蝶翼式 微机械加工 集成封装
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 设计与制造|Design & Manufacture
• 页码范围: 60-62
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)06-0060-03

摘要

针对故障诊断与安全监测的应用需求,设计了一种大量程、体积小、高谐振频率的蝶翼式振动加速度传感器.通过COMSOL有限元分析(FEA)对敏感结构进行了分析与优化设计.采用了基于绝缘体上硅(SOI)圆片的敏感结构制造工艺完成了敏感结构的加工,将敏感结构与信号检测电路进行了集成,并与传感器结构件进行了封装,完成了蝶翼式加速度传感器的制造.最终,对蝶翼式振动加速度传感器的灵敏度、灵敏度误差、谐振频率等主要性能指标进行了测试.