压阻式压力传感器温度误差的插值补偿方法研究

• 作者: 贺红林 许佳豪 周战洪 胡东明 李冀
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压阻式压力传感器 温度漂移 三次样条插值 埃尔米特插值
• 年，卷（期）: 2021,（12）
• 所属期刊栏目: “传感器技术”专题|SENSOR TECHNOLOGY
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TN06|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13382/j.jemi.B2104283

摘要

为减小环境温度变化对压阻式压力传感器实施可靠测量的不利影响,提出一种结合三次样条插值与埃尔米特插值的补偿方法.首先通过标定实验获取标定数据,采用三次样条插值建立环境温度、传感器输出电压与待测压力之间的函数关系以补偿传感器的温度误差,再借助埃尔米特插值构造输出电压与待测压力之间的映射关系描述传感器的测量特性.两种标定工况条件下压力传感器的温度补偿实验结果表明,经该方法补偿后的传感器测量最大引用误差分别为2.414×10-4和6.129×10-4、平均引用误差分别为2.353×10-5和1.313×10-4、误差方差分别为1.751×10-9和1.613×10-8,零点温度系数分别为2.780×10-7和8.862×10-7,灵敏度温度系数分别为1.952×10-6和3.672×10-6,验证了该方法在不同建模数据条件下补偿性能的一致有效性.