用于晶圆键合的对准标记定位算法

• 作者: 鲁沛昕 杨开明 鲁森 朱煜
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆键合对准 对准标记定位 高精度 亚像素
• 年，卷（期）: 2021,（11）
• 所属期刊栏目: 视觉检测与图像测量|Vision Inspection and Image Measurement
• 页码范围: 220-229
• 页数: 10页
• 分类号: TP391.4|TH822
• 语种: 中文
• DOI: 10.19650/j.cnki.cjsi.J2108113

摘要

对准标记精确定位是晶圆键合精度实现的关键,为了提高对准标记定位算法的精度、实时性及适应性,提出了一种基于边缘检测拟合定位的高精度对准标记定位算法.该方法结合分级金字塔模型对对准标记进行逐级定位,获得像素级的目标区域粗定位结果,根据目标区域粗定位结果,结合Canny检测器与改进的高斯拟合法,对对准标记的亚像素轮廓进行拟合,在此基础上结合中心对称的对准标记特征,利用改进后的最小二乘法快速拟合对准标记的中心位置,实现对准标记的精确定位.通过实验验证了该方法的有效性,实验结果表明,提出的对准标记定位算法在快速定位目标区域的同时,可实现约0.06 μm的重复定位误差,满足了晶圆键合对准的精度、实时性和适应性的需求.