集成电路制造装备中的气体纯化器应用

• 作者: 刘皖南 郭仕通 霍金虎 冯玉扉 姜剑锋
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路制造 气体纯化器 国产化替代
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺与制造|Process and Fabrication
• 页码范围: 40-41
• 页数: 2页
• 分类号: TN405
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2022.02.014

摘要

阐述半导体制造过程中的重要设备气体纯化器的发展背景,气体纯化设备的国产化替代历程,存在的问题和应对的策略,从而适应集成电路产业的发展步伐.