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四川真空
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四川省真空学会
国投南光有限公司
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半年刊
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刊名： 四川真空发表期刊： 1991年1期页码:摘要：
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24. ECR等离子体CVD技术刊名： 四川真空发表期刊： 1991年2期页码:摘要：
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四川真空基本信息
| 刊名 | 四川真空 | 主编 | |
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| 主办单位 | 四川省真空学会 国投南光有限公司 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 半年刊 | 语种 | |
| ISSN | CN | ||
| 邮编 | 610062 | 电子邮箱 | |
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