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靶材密度对射频磁控溅射法制备ITO薄膜性能的影响
氧化锡铟(ITO)
靶材密度
薄膜
射频磁控溅射
铝靶电流对磁控溅射AlSn20镀层耐蚀性的影响
轴承合金
AlSn20镀层
耐蚀性
自腐蚀电位
磁控溅射技术在产业用纺织品涂层中的应 用进展
产业用纺织品
磁控溅射
织物涂层
金属化
复合化
平面圆形磁控溅射靶枪的磁场分析
磁控溅射
有限元
横向分量
磁通量密度
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 磁控溅射用的简易型靶支架的试制
来源期刊 四川真空 学科 工学
关键词 磁控溅射 靶支架 试制
年,卷(期) 1991,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 76-79
页数 4页 分类号 TN305.92
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DOI
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1991(0)
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研究主题发展历程
节点文献
磁控溅射
靶支架
试制
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
四川真空
半年刊
成都市第109信箱207分箱
出版文献量(篇)
395
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1
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