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磁控溅射C靶电流对Cr/C和Cr/C/N复合镀层组织和性能的影响
磁控溅射
C靶电流
Cr/C镀层
Cr/C/N镀层
性能
溅射参数对FeSiAl薄膜磁性能的影响
FeSiAl 薄膜
直流磁控溅射
溅射功率
平面圆形磁控溅射靶枪的磁场分析
磁控溅射
有限元
横向分量
磁通量密度
溅射制备Ni-Mn-Ga磁性形状记忆合金薄膜的组织结构研究
Ni-Mn-Ga合金
磁控溅射
磁性形状记忆合金
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用于沉积Co—Cr垂直磁性载声体的平面靶溅射系统
来源期刊 四川真空 学科 工学
关键词 CO-CR 薄膜 载声体 沉积 溅射系统
年,卷(期) 1991,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 46-47
页数 2页 分类号 TN305.92
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1991(0)
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研究主题发展历程
节点文献
CO-CR
薄膜
载声体
沉积
溅射系统
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
四川真空
半年刊
成都市第109信箱207分箱
出版文献量(篇)
395
总下载数(次)
1
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0
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