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摘要:
利用改进后的对靶磁控溅射系统,以N2/Ar混合气体为溅射气体,在未加热的Si(111)衬底上沉积FeCoN薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)和超导量子干涉仪(SQUID)研究不同Co靶溅射功率对FeCoN薄膜样品的结构、形貌和磁性性能的影响.结果表明:固定Fe靶功率为160 W(电流I=0.4 A),当Co靶功率为2.4 W(I=0.04 A)时,薄膜由Co溶入ε-Fe3N中形成的ε-(Fe,Co)3N化合物相构成;当Co靶功率为58 W(I=0.2 A)时,获得了Fe3N/Co3N化合物相,薄膜的饱和磁化强度(Ms)为151.47 A·m2/kg,矫顽力(Hc)为3.68 kA/m;当Co靶功率为11.9 W(I=0.07 A)时,制备出具有高饱和磁化强度的α″-(Fe,Co)16N2化合物相,薄膜的Ms=265.08 A·m2/kg,Hc=8.24 kA/m.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 对靶磁控溅射FeCoN薄膜的结构与磁性
来源期刊 吉林大学学报(理学版) 学科 工学
关键词 FeCoN薄膜 α″-(Fe,Co)16N2 饱和磁化强度 矫顽力
年,卷(期) 2011,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 125-130
页数 分类号 TB303
字数 3161字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王欣 吉林大学材料科学与工程学院 171 884 14.0 22.0
2 贾辉 北华大学物理学院 6 5 1.0 2.0
4 孙光东 惠州学院电子系 9 9 2.0 2.0
5 韩莉 北华大学物理学院 3 5 1.0 2.0
8 孙淑晶 北华大学物理学院 2 4 1.0 2.0
9 赵翠梅 吉林大学材料科学与工程学院 1 3 1.0 1.0
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节点文献
FeCoN薄膜
α″-(Fe,Co)16N2
饱和磁化强度
矫顽力
研究起点
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期刊影响力
吉林大学学报(理学版)
双月刊
1671-5489
22-1340/O
大16开
长春市南湖大路5372号
12-19
1955
chi
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