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光机电世界
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CN 22-1142/TH
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月刊
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刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年1期页码:摘要：
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刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年1期页码:摘要：
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4. 微机械结构的光学测量刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年1期页码:摘要：
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5. 基板制作方法及其展望刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年1期页码:摘要：
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6. 软X射线辐射测热计刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年1期页码:摘要：
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7. 空间光调制器及应用刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年1期页码:摘要：
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刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年2期页码:摘要：
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9. 纳米级定位技术刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年2期页码:摘要：
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10. 微切削加工中的最小切削厚度刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年2期页码:摘要：
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刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年2期页码:摘要：
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12. 纳米技术测试设备刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年2期页码:摘要：
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13. 微机械的动力源—微型电机刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年2期页码:摘要：
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14. 焊接用CO2气体激光器刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年2期页码:摘要：
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刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年2期页码:摘要：
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16. 信息的多层光记录法刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年2期页码:摘要：
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17. 点源投影X射线光刻刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年3期页码:摘要：
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18. X射线投影光刻系统设计研究刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年3期页码:摘要：
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刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年3期页码:摘要：
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21. 极紫外自由电子激光投影光刻系统刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年3期页码:摘要：
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22. 软X射线成像显微镜的特性限制刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年3期页码:摘要：
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24. W／B4C X射多层膜反射镜刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年3期页码:摘要：
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26. X射线缩小投影光刻系统刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年3期页码:摘要：
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刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年3期页码:摘要：
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29. 光电定位技术刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年5期页码:摘要：
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30. 相干软X射线～XUV光发生装置刊名： 光机电世界发表期刊： 1993年5期页码:摘要：
光机电世界基本信息
| 刊名 | 光机电世界 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 主管单位 | ||
| 出版周期 | 月刊 | 语种 | |
| ISSN | CN | CN 22-1142/TH | |
| 邮编 | 130022 | 电子邮箱 | |
| 电话 | 网址 | https://netl.istic.ac.cn/site/link?cdoi=93182A&mid=2F54B3A514A34193AB662FE41DEAE1D1 | |
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