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栅结构微机械陀螺运动特性的研究
微电子机械系统
角速度传感器
微机械陀螺
声激励共振法测量微机械材料的杨氏模量
声激励共振法
测量
微机械材料
杨氏模量
微机械电磁阻尼结构分析
微机械
电磁阻尼
振动稳定时间
微机械振动陀螺隔离耦合的结构设计
微陀螺
机械耦合误差
隔离耦合
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 微机械结构的光学测量
来源期刊 光机电世界 学科 工学
关键词 微机械 结构 光学 测量
年,卷(期) 1993,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 18-21
页数 4页 分类号 TH740.6
字数 语种 中文
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研究主题发展历程
节点文献
微机械
结构
光学
测量
研究起点
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期刊影响力
光机电世界
月刊
CN 22-1142/TH
长春市1024信箱
出版文献量(篇)
195
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1
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