电子工业专用设备期刊
出版文献量(篇)
3731
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电子工业专用设备

Equipment for Electronic Products Manufacturing

影响因子 0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物,以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向,以“公布新的科技成就,传播科技信息,交流学术思想,促进科技成果的商品化、产业化,为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势,全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉:
2001~2002年度标准化规范化部级奖  获2003~2004年度出版质量部级奖 
ISSN:
1004-4507
CN:
62-1077/TN
出版周期:
双月刊
邮编:
100029
地址:
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
出版文献量(篇)
3731
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10002
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  • 作者: 周国安 李伟 王东辉 詹阳 高文泉
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  1-5
    摘要: 论述了反射光谱学及椭圆偏振法的原理,根据这些原理分析了离线测量设备,并列举了具有代表性的设备Nanospec6100和KLA-TENCOR的ASET-F5X,指出离线设备的特点及其局限性;分...
  • 作者: 周志奇 杨师 费玖海
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  6-10
    摘要: 晶圆加工是单晶硅衬底和集成电路制造中的关键技术之一,为了得到更稳定的硅片,提高其平整度和表面洁净度,国内外技术人员越来越注重减薄与抛光设备的研究与改进.介绍了针对硅片平坦化工艺的减薄设备及现...
  • 作者: 孙刚 张俊 李志丹 陈勇辉
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  11-17,60
    摘要: 图形化蓝宝石衬底(PSS)工艺在改善GaN晶体外延生长质量以及提升LED器件发光提取效率方面作用显著,并被LED行业大量采用.针对高亮度LED量产线大量采用二手投影光刻机制备PSS衬底所面临...
  • 作者: 刘玄博 孙广翔
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  18-22,32
    摘要: 高精度高效率的预对准系统是现代集成电路(IC)生产中实现晶圆自动传输的重要部件.介绍了预对准台的大致设计结构,分析了目前常见的找心算法以及存在的问题,进而提出新的找圆心算法.之后针对带切边晶...
  • 作者: 侯为萍 刘永进 宋文超 张利军 王刚
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  23-27,37
    摘要: 介绍了常用的光刻版清洗工艺,并详细讲解了全自动光刻版清洗机的工作过程.同时,简单介绍了为提高光刻版清洗效果而设计的浸泡系统、药液供给与循环系统和温控系统.
  • 作者: 井文丽 侯一雪 张永聪 曹国斌 王雁
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  28-32
    摘要: 视觉定位技术是全自动芯片拾放设备的核心技术之一,其设计需结合设备功能、结构特点、运动方式来完成.介绍的视觉定位方法采用仰视与俯视双相机、俯视相机双镜头切换方式,适用于全自动粘片机、点胶机、晶...
  • 作者: 付江波 柴亮 田志
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  33-37
    摘要: 为了满足全自动键合机的高速和高定位精度的需求,对应用在直线电机的碳纤维复合材料进行了研究.通过对碳纤维复合材料和玻璃纤维复合材料的性能进行了分析比较,最终确定碳纤维复合材料具有更好的刚度及动...
  • 作者: 于百灵 孙贝贝 陆志娟 陈国澍
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  38-41
    摘要: 背光源叠片机的定位机构是对膜片进行高精度定位.采用对膜片四边定位的机构,精度高,稳定性强.因此对膜片四边定位的机构是合理有效的.介绍了定位机构的组成和设计理论依据,其中光纤安装机构和微调装置...
  • 作者: 李国林 杨志
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  42-46
    摘要: 介绍了Modbus RTU通讯协议,阐述了如何在Visual Basic 6.0环境下利用MSComm控件实现可编程以太网控制器PEC8000与计算机串口通讯的技术,并给出了相应的程序设计过...
  • 作者: 曹国斌 王花 田志峰
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  47-52
    摘要: 通过ANSYS Workbench对多功能精密组装系统悬臂型焊接臂进行模态分析,分析结果表明,初始设计焊接臂将会发生共振现象,因此需提高此焊接臂的刚度以避免产生共振.此方法也为多功能精密组装...
  • 作者: 宋波 张孝其 韦薇
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  53-56
    摘要: 步进电机作为执行元件,在半导体设备领域应用广泛.为降低成本,决定自行开发步进电机驱动器.经研究比较,提出一种由专用芯片THB6064AH实现两相混合式步进电机驱动器的设计方案.测试表明,此方...
  • 作者: 付少辉
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  57-60
    摘要: 元件在过功率使用时会有焦糊、炸飞等无法辨别型号参数情况发生,给维修带来困难.传统替换比较法建立在图纸或同型机支持上,存在局限性,有必要对该类元件的辨别方法做一些研究与探讨,来快速的辨别和保障...
  • 作者:
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  61-71
    摘要:

电子工业专用设备基本信息

刊名 电子工业专用设备 主编 赵璋
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第四十五研究所  主管单位 中国电子科技集团
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1004-4507 CN 62-1077/TN
邮编 100029 电子邮箱 faith_epe@sohu.net
电话 010-64443110,64655251 网址 www.chinaepe.com.cn
地址 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室

电子工业专用设备评价信息

期刊荣誉
1. 2001~2002年度标准化规范化部级奖
2. 获2003~2004年度出版质量部级奖

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