高亮度LED步进投影光刻机及其量产应用

• 作者: 孙刚 张俊 李志丹 陈勇辉
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 图形化蓝宝石衬底 发光二极管 氮化镓
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 先进光刻技术与设备
• 页码范围: 11-17,60
• 页数: 8页
• 分类号: TN304|TN305
• 字数: 3110字
• 语种: 中文

摘要

图形化蓝宝石衬底(PSS)工艺在改善GaN晶体外延生长质量以及提升LED器件发光提取效率方面作用显著,并被LED行业大量采用.针对高亮度LED量产线大量采用二手投影光刻机制备PSS衬底所面临的焦深不足、垂向控制容易离焦,以及运动台拼接精度不足等问题导致的PSS良率仅有70％～80％的现象,有针对性地在新研制的高亮度LED光刻机中采用最佳线宽/焦深选择技术、无缝拼接技术、Mapping垂向控制技术,使PSS的制造良率达到95％以上,极大地降低了PSS制造返工成本.同时,针对芯片细电极曝光需求,采用精密机器视觉对准技术,实现了芯片电极层1μm线宽下200 nm套刻精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈勇辉		2	2	1.0	1.0
2	李志丹		2	5	1.0	2.0
3	孙刚		1	0	0.0	0.0
4	张俊		1	0	0.0	0.0