功能材料与器件学报期刊
出版文献量(篇)
1638
总下载数(次)
2
总被引数(次)
10162

功能材料与器件学报

Journal of Functional Materials and Devices
本刊于1995年创刊,是由中国材料研究学会和中国科学院上海微系统与信息技术研究所共同主办的全国性学术期刊。 主要刊登反映功能材料与器件领域中具有创新性的科研成果和应用技术进展的论文、简报、综述和消息。 来稿可以涉及功能材料的制备、加工、性能和应用,以及功能器件的原理、工艺和性能等等,具体可以包括下列领域: 微电子机械系统(MEMS) 微电子和光电子材料与器件... 更多
主办单位:
中科院上海微系统与信息技术研究所 中国材料研究学会
期刊荣誉:
中国学术期刊综合评价数据库来源期刊  中国科技论文统计源期刊、中国科学引文数据库来源期刊   美国Ei,美国CA,英国SA,俄罗斯PЖ的文献源期刊  
ISSN:
1007-4252
CN:
31-1708/TB
出版周期:
双月刊
邮编:
200050
地址:
上海市长宁路865号
出版文献量(篇)
1638
总下载数(次)
2
总被引数(次)
10162
文章浏览
目录
  • 作者: 曹俊诚
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  111-117
    摘要: 太赫兹(THz)技术涉及电磁学、光电子学、半导体物理学、材料科学以及微加工技术等多个学科,它在信息科学、生物学、医学、天文学、环境科学等领域有重要的应用价值.THz振荡源与THz探测器则是T...
  • 作者: 孟松鹤 朱嘉琦 韩杰才
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  118-122
    摘要: 利用离面双弯曲过滤阴极真空电弧沉积系统,在Φ 200 mm单晶硅片上制备四面体非晶碳薄 膜.利用 Dectek3型表面轮廓仪检验膜厚均匀性(小于 5%),并利用扫描电子显微镜( SEM)、原...
  • 作者: 叶超 宁兆元 杜伟 程珊华 辛煜 黄松
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  123-127
    摘要: 使用光强标定的发射光谱( AOES)测量了 CHF3/C6H6混合气体的微波电子回旋共振( ECR) 放电等离子体中基团的分布状态.实验发现随着 CHF3流量的增加 ,成膜基团 CF、 CF...
  • 作者: 介万奇 李国强 谷智
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  128-132
    摘要: 采用 Cd1- yZny合金作退火源,对垂直布里奇曼法生长获得的 Cd0.9Zn0.1Te晶片进行了退火处 理.实验结果表明,退火后,晶片中 Zn的径向成分偏离从 0.15at %降低到 0...
  • 作者: 宗登刚 王聪和 王钻开 陆德仁 陈刚
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  133-138
    摘要: 利用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究低应力 LPCVD氮化硅薄 膜的力学特性.通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形对挠度有贡献的微桥挠度解析表达式. 对于在加卸载过程...
  • 作者: 刘永刚 宣丽 张力 徐宝琨 王兢 阮圣平 马骥
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  139-142
    摘要: 采用硬脂酸凝胶法 (SAG)制备了纳米晶 PbTiO3,用差热-热重分析、红外光谱分析、 X光衍射 分析及透射电镜等手段对产物的形成过程、晶型、粒径进行了表征.通过对材料介电性能的研究发 现...
  • 作者: 吴柏枚 孙敦陆 张连翰 李世锋 李波 杭寅 殷绍唐 钱小波
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  143-146
    摘要: Nd3+ :Y0.5Gd0.5VO4晶体作为一种新的激光材料,可以用中频感应加热提拉法生长. X射线 粉末衍射分析表明它的结构与 Nd3+ :YVO4晶体结构相同 , 它的晶格常数介于 YV...
  • 作者: 万青 林成鲁 林青 沈勤我 谢欣云
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  147-149
    摘要: 应用超高真空电子束蒸发方法,以铁作为催化剂,在硅和多孔硅衬底上生长纳米 Si锥阵列. 采用原子力显微镜表征生长在不同衬底上纳米硅的形貌特征,测试和比较了不同衬底上纳米硅的 电子场发射性能.实...
  • 作者: 张溪文 韩高荣
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  150-154
    摘要: 以硅烷 (SiH4)和硼烷 (B2H6)为气相反应先驱体,采用等离子体增强化学气相沉积法 (PECVD)制备出能应用于液晶光阀光导层的硼掺杂非晶氢硅薄膜. X射线衍射、原子力显微镜和光、暗电...
  • 作者: 吴清良 罗学涛 陈小君 陈立富 黄前军
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  155-160
    摘要: 提出了一种新型多纤维陶瓷电容器( MFC). MFC由众多纤维电容器并联而成,而每根纤维 电容器由内电极 (导电纤维 )、介电层和外电极构成.理论分析表明,当纤维直径与介电层厚度相 匹配时,...
  • 作者: 王钻开 陆德仁
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  161-164
    摘要: 研究了硅微机械高 g(g为重力加速度 )加速度传感器的固有频率和阻尼特性对冲击响应的 影响.传感器固有频率低,阻尼小时,冲击加速度的响应波形包含传感器共振波,造成测量干扰. 采用有适当阻尼,...
  • 作者: 史济群 周雪梅 张五星 徐重阳 王长安
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  165-169
    摘要: 通过 Sol- Gel方法和半导体工艺,制备出基于 Ba0.8Sr0.2TiO3( BST)薄膜的非致冷红外焦平面 阵列( UFPA)探测单元.用 ANSYS有限元分析软件,对探测单元进行了...
  • 作者: 周成瑶 杨德仁 谢荣国 赵毅 阙端麟
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  170-174
    摘要: 多孔硅与有机材料复合可以改善多孔硅的光致发光特性.用化学腐蚀的方法制备了多孔硅, 通过不同方法实现了多孔硅与聚甲基丙烯酸甲酯 (PMMA)的复合.实验结果表明,用旋涂法实现 的 PMMA固化...
  • 作者: 刘陈 尹盛 徐重阳 王长安 钟志有
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  175-178
    摘要: 为了研究有机电致发光器件光电性能随工作参数的变化,对 ITO/TPD(50nm)/Alq3(50nm)/Mg/Al的实验数据进行分析,发现该器件在低压时属于注入电流限制,高压时为陷阱电荷限制...
  • 作者: Frank Stubhan 冯涛 张富民 徐立强 王旭洪 王曦 盛玫 罗乐 邹世昌 黄卫东
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  179-184
    摘要: 利用等离子体化学气相沉积( PECVD)技术 ,采用不同的沉积条件 (20~ 180℃的基板温度范 围和 10~ 30W的射频功率 )制备了氮化硅薄膜,研究了沉积条件对氮化硅薄膜性质和防水性...
  • 作者: 张奇 桑文斌 滕建勇 金玮
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  185-190
    摘要: 芯片尺度封装( CSP)技术是近年来发展最为迅速的微电子封装新技术.通过对 WB-SP器件中金线 (Gold Wire)所受应力的有限元模拟 ,发现金线所受应力与塑封材料的膨胀系数、焊点 大...
  • 作者: 周天 徐元森 赵建龙 邹志清
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  191-194
    摘要: 设计并制作了一种石英玻璃材料的 PCR(Polymerase Chain Reaction)微池芯片 ,使用商用热 循环仪控温.通过实时测量芯片微池内温度 ,改进温度控制程序 ,使用 BSA...
  • 作者: 倪昊 徐元森
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  195-200
    摘要: 用 CMOS工艺实现了非接触式 IC卡天线的集成化所需要考虑的多个方面,建立了集成天 线的模型,导出了合理的设计方案,并通过实验验证了模型和设计方案.实验结果表明,采用片 上天线完全可以提供...
  • 作者: 庄家骐 徐力 李铁津 杨文胜 王连英 解仁国 郭轶
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  201-204
    摘要: 利用水相中直接合成的 CdS纳米晶,与牛血清白蛋白( BSA)进行偶连标记.通过分子筛层析 对标记后的牛血清白蛋白进行纯化,在紫外灯下即可观察到标记蛋白的荧光.对 CdS纳米晶标记 后的牛血...
  • 作者: 周美玲 张久兴 张光磊 张国珍 钟涛兴
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  205-208
    摘要: 采用放电等离子烧结( SPS)技术,低温、快速地在 Ti合金表面制备 HA活性涂层.研究了涂 层成分和厚度对涂层与基体结合强度的影响,观察了断口形貌.结果表明:随着涂层厚度的减小, 结合强度...
  • 作者: 党海军 刘志超 李辉 秦启宗
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  209-212
    摘要: 用脉冲激光沉积法制备了 V2O5-氧化物薄膜电极材料,用 XeF2对其进行了氟化改性,并对 比了电极材料氟化前后的充放电性能的变化.实验结果表明:氟化后的 V2O5-薄膜氟化后循环性 能明显...
  • 作者: 沈容 王天民 王聪 董成
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  213-218
    摘要: 采用固相化学反应方法成功合成了 GdY(WO4)3, Gd2(MoO4)3, DyGd(MoO4)3, DyTb(MoO4)3, 利用高、低温 X射线衍射方法对其结构及其晶胞参数随温度的变化...
  • 作者: 宋华清 张苗 林成鲁 石兢
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  219-221
    摘要: 结合中等剂量的氢离子注入和阳极键合( Anodic bonding),利用智能剥离技术( Smart-ut) 成功转移了一层单晶硅到玻璃衬底上.采用剖面透射电镜、高分辨透射电镜、扫描电镜和拉...
  • 作者: 张正选 林成鲁
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  222-226
    摘要: 重点介绍器件进入纳米尺度后出现的 MOSFET/SOI器件的新结构,如超薄 SOI器件、双栅 MOSFET、 FinFET和应变沟道等 SOI器件,并对它们的性能进行了分析.
  • 作者: 姜中宏 徐时清 戴世勋 杨中民 胡丽丽
    发表期刊: 2003年2期
    页码:  227-232
    摘要: 简述了磁光玻璃中 Faraday效应的本质特征;综述了磁光玻璃的研究进展;对在光纤传感器 中有潜在应用前景的高掺稀土玻璃材料作了介绍,并对当前磁光玻璃研究中存在的问题进行了讨论.

功能材料与器件学报基本信息

刊名 功能材料与器件学报 主编 邹世昌
曾用名
主办单位 中科院上海微系统与信息技术研究所 中国材料研究学会  主管单位 中国科学院
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1007-4252 CN 31-1708/TB
邮编 200050 电子邮箱 jfmd@mail.sim.ac.cn
电话 021-62511070 网址 www.jfmd.cn
地址 上海市长宁路865号

功能材料与器件学报评价信息

期刊荣誉
1. 中国学术期刊综合评价数据库来源期刊
2. 中国科技论文统计源期刊、中国科学引文数据库来源期刊
3. 美国Ei,美国CA,英国SA,俄罗斯PЖ的文献源期刊

功能材料与器件学报统计分析

被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊