功能材料与器件学报期刊
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功能材料与器件学报

Journal of Functional Materials and Devices
本刊于1995年创刊,是由中国材料研究学会和中国科学院上海微系统与信息技术研究所共同主办的全国性学术期刊。 主要刊登反映功能材料与器件领域中具有创新性的科研成果和应用技术进展的论文、简报、综述和消息。 来稿可以涉及功能材料的制备、加工、性能和应用,以及功能器件的原理、工艺和性能等等,具体可以包括下列领域: 微电子机械系统(MEMS) 微电子和光电子材料与器件... 更多
主办单位:
中科院上海微系统与信息技术研究所 中国材料研究学会
期刊荣誉:
中国学术期刊综合评价数据库来源期刊  中国科技论文统计源期刊、中国科学引文数据库来源期刊   美国Ei,美国CA,英国SA,俄罗斯PЖ的文献源期刊  
ISSN:
1007-4252
CN:
31-1708/TB
出版周期:
双月刊
邮编:
200050
地址:
上海市长宁路865号
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  • 作者: 吕文中 张道礼 徐建梅 胡云香 赵岚
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  369-376
    摘要: 电子陶瓷材料的纳米尺寸效应、纳米技术以及代表纳米特征的相关特征技术变得日益重要.本文讨论了电子陶瓷材料领域的纳米技术研究进展以及将来的发展趋势.首先阐述了纳米氧化物陶瓷的尺寸效应,然后讨论纳...
  • 作者: 叶峰 妥万禄 巴维真
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  377-380
    摘要: 采用液相共沉淀法用草酸作为沉淀剂制备了Co-Mn-Ni-O陶瓷热敏电阻纳米粉体,并采用综合热分析(TG、DTA)、X射线衍射(XRD)和扫描电子显微技术(SEM)对该法制备的粉体和对照粉体进...
  • 作者: 吴卫东 唐永建 李朝阳 杨向东 韦建军
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  381-384
    摘要: 采用自悬浮定向流法制备了Cu-Al合金纳米复合微粒,对样品进行TEM和XRD分析表明该纳米复合微粒主要由纳米金属间化合物Cu4Al构成,粒径分布在30~50nm之间,并结合自悬浮定向流技术的...
  • 作者: 万发荣 叶亚平 周海鹰 罗欣莲 蓝鼎 龙毅
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  385-390
    摘要: 采用溶胶凝胶法、粉末涂敷法和磁控溅射法在导电玻璃上制得纳米TiO2薄膜.电子衍射和X射线衍射实验表明该薄膜主要是锐钛矿相结构,透射电子显微镜实验证明了薄膜晶粒为纳米尺度,扫描电子显微镜实验观...
  • 作者: 吴兴惠 李金莉 柳清菊 王庆辉 靳映霞
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  391-395
    摘要: 采用溶胶-凝胶法及浸渍提拉法在普通的载玻片上制得含不同掺银量的TiO2薄膜,通过对薄膜及相应粉体的XRD、XPS及薄膜致密度的测量,分析了银的掺杂量对TiO2薄膜亲水特性的影响.结果表明:T...
  • 作者: 李华 陈丽
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  396-400
    摘要: 用MS-Xα方法研究了Co1-xMnx合金(bcc结构)的电子结构与磁性,计算结果表明:原子之间存在负交换耦合,且随着Mn含量的增加,负交换耦合增强,从而导致bcc结构的Co1-xMnx合金...
  • 作者: 王成建 肖洪地 胡文容
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  401-404
    摘要: 研究了La1-xSrxMnO3导电陶瓷的导电性和红外吸收.结果表明,随着x的增加,电阻率减小.在x=0.5时,出现电阻率最小值,然后随着x的增加电阻率进一步增加.具有最大红外吸收峰的导电陶瓷...
  • 作者: 冯维存 刘汉强 李卫 王标 韩广兵 高汝伟
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  405-408
    摘要: 以Nd2Fe14B/α-Fe为例,研究了晶粒之间交换耦合相互作用对纳米复合永磁体有效各向异性的影响.纳米复合永磁体的有效各向异性常数可用软-软、硬-硬、软-硬三种不同晶粒界面对应有效各向异性...
  • 作者: 任天令 刘华瑞 刘理天 库万军 曲炳郡 李伟 杨芝茵
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  409-414
    摘要: 通过高真空直流磁控溅射的方法,在玻璃和硅上淀积了结构为Ta/NiFe/CoFe/Cu/CoFe/IrMn/Ta的IrMn顶钉扎自旋阀薄膜.通过结构的改善和工艺条件的优化,自旋阀的磁电阻率达到...
  • 作者: 俞跃辉 宋朝瑞 张福民 王曦 邹世昌
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  415-418
    摘要: 采用ta-C薄膜用于SOI结构中的绝缘层,在高温高功率器件中有很大的应用潜力.应用真空磁过滤弧源沉积(FAD)的方法制备了ta-C薄膜.通过AFM、non-RBS、IR、I-V、C-V等方法...
  • 作者: 刘天模 张兵 徐幸梓 王必本
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  419-422
    摘要: 利用等离子体增强热丝化学气相沉积系统在沉积有过渡层Ta和催化剂层NiFe的Si衬底上制备出准直碳纳米管,并用扫描电子显微镜研究了它们的生长和结构,结果表明真空度对其生长和结构有较大的影响.当...
  • 作者: 付盛荣 熊斌 王跃林 车录锋
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  423-428
    摘要: 主要研究了大角速度信号输入对栅结构振动式微陀螺及其检测电路分辨率的影响.在0.01-200o/s的动态范围内,按照设计值,陀螺器件与检测电路组成的系统能够分辨0.01o/s的输入角速度变化....
  • 作者: 刘文超 周健 夏冠群 李冰寒
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  429-431
    摘要: 用磁控溅射系统和快速合金化法制备了Au/Ti/W/Ti多层金属和n-GaAs材料的欧姆接触,用传输线法对其比接触电阻进行了测试,并利用俄歇电子能谱(AES)和X射线衍射图谱(XRD)对接触的...
  • 作者: 孙长征 熊兵 王健 罗毅 郝智彪
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  432-436
    摘要: 深入研究了掩膜制作工艺对电感耦合等离子体刻蚀的InP端面的影响.首先比较了光刻胶、SiO2和Si3N4三种材料的掩膜特性,发现掩膜图形的致密性、侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影...
  • 作者: 余宁梅 安涛 祁慧 马丽 高勇
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  437-442
    摘要: 提出了在SiGe/Si异质结开关功率二极管的本征i区中采用掺杂浓度三层渐变式结构.由Medici模拟所得的特性曲线表明,该结构在正向I-V特性基本不发生改变的前提下,与i区固定掺杂结构相比具...
  • 作者: 徐安怀 曹俊诚 李爱珍 陈雷东 齐鸣
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  443-447
    摘要: 设计了一种新结构的InGaAs/InP双异质结晶体管(DHBT),其中发射结采用δ掺杂和阻挡层结构,集电极采用N+掺杂复合结结构.考虑隧穿作用和发射结空间电荷区复合电流的影响,计算了δ掺杂浓...
  • 作者: 姚熹 张良莹 李建康 汪静
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  448-452
    摘要: 红外热释电探测器的关键是敏感元的研制,而敏感元主要是由具有一定图形的铁电薄膜和上下电极构成.采用半导体光刻工艺,利用化学腐蚀法成功地对PZT铁电薄膜进行了刻蚀,同时采用剥离技术对相应的电极实...
  • 作者: 张万里 张文旭 彭斌 杨仕清 蒋洪川
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  453-456
    摘要: 研究了厚膜永磁阵列微致动器中的磁场分布,并研究了永磁阵列单元几何尺寸对微致动器电磁力的影响.结果表明,厚膜永磁阵列单元高宽比和磁体单元间隔对微致动器电磁力影响较大,磁体单元高宽比为0.7是一...
  • 作者: 余增亮 刘伟 刘锦淮 张鉴
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  457-460
    摘要: 报道了银掺杂的半导体氧化物CuO-BaTiO3对CO2的敏感特性.分析了Ag掺杂量对CuO-BaTiO3灵敏度的影响.Ag掺杂量不仅影响CuO-BaTiO3对CO2是的灵敏度和工作温度,还影...
  • 作者: 余云鹏 林舜辉 欧阳艳东 黄翀
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  461-463
    摘要: 通过测量ITO玻璃及偏光片对各波段紫外光的光谱特性,分析比较一般偏光片和防紫外偏光片F1225DU的紫外透射光谱,从而说明新型偏光片的防紫外特性.F1225DU对紫外线有比较好的吸收,能挡住...
  • 作者: 孙振翠 曹文田 王强 薛成山 魏芹芹
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  464-468
    摘要: 利用热壁化学气相沉积在Si(111)衬底上获得GaN晶绳,采用傅里叶红外吸收谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)、选区电子衍射(SAED)、X射线衍射(XRD)和光致发光谱(PL)对晶绳...
  • 作者: 于广辉 叶好华 孟兆祥 李存才 李爱珍 雷本亮 齐鸣
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  469-472
    摘要: 建立了GaN HVPE系统的流体动力学模型,研究了反应气体在反应室内的浓度场,讨论了反应室内GaCl和NH3管道空间配置对气体在衬底表面浓度分布的影响,并对HVPE系统反应室的设计进行了优化...
  • 作者: 朱胜超 杨志平 王文杰 郭智
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  473-476
    摘要: 制备了不同Pr3+摩尔浓度下的CaTiO3:Pr3+红色长余辉材料,测量了磷光体的的初始亮度、余辉曲线、激发光谱和发射光谱、热释光曲线.研究发现CaTiO3:Pr3+合适的Pr3+摩尔浓度为...
  • 作者: 刘益春 吕有明 吴春霞 张吉英 李炳辉 申德振 范希武 赵东旭
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  477-480
    摘要: 用等离子辅助分子束外延(P-MBE)的方法,在蓝宝石c-平面上外延生长了MgxZn1-xO合金薄膜.在0≤x≤0.2范围内MgxZn1-xO薄膜保持着六角纤锌矿结构不变.原位反射式高能电子衍...
  • 作者: 刘月英 沈德新 熊斌
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  481-485
    摘要: 介绍一种封闭薄膜式红外热电堆上增涂金属反射层的新型设计.增涂的反射层通过向环境空间反射和传导冷端吸收的热量来增大传感器的响应率和探测率.同时,这种设计有效地改善了系统的可靠性,并降低了传感器...
  • 作者: 唐明述 宋碧涛 徐玲玲 熊国宣 邓敏
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  486-492
    摘要: 讨论了隐身材料的隐身机理,论述了雷达隐身材料、红外隐身材料、多频谱兼容的多功能隐身材料及隐身混凝土的研究状况,并提出了这几种隐身材料的发展趋势.
  • 作者: 周天 徐元森 赵建龙 邹志青
    发表期刊: 2003年4期
    页码:  493-498
    摘要: 阐述了芯片实验室的材料、微细加工、流体驱动等制备技术的近期研究进展.系统介绍了芯片实验室的各种制备技术,这些技术包括紫外光刻、软刻蚀、LIGA技术、DEM技术、键合等.流体驱动是芯片实验室的...

功能材料与器件学报基本信息

刊名 功能材料与器件学报 主编 邹世昌
曾用名
主办单位 中科院上海微系统与信息技术研究所 中国材料研究学会  主管单位 中国科学院
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1007-4252 CN 31-1708/TB
邮编 200050 电子邮箱 jfmd@mail.sim.ac.cn
电话 021-62511070 网址 www.jfmd.cn
地址 上海市长宁路865号

功能材料与器件学报评价信息

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