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功能材料与器件学报2003年第3期出版文献
出版文献量（篇）
1638
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功能材料与器件学报
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本刊于1995年创刊，是由中国材料研究学会和中国科学院上海微系统与信息技术研究所共同主办的全国性学术期刊。
主要刊登反映功能材料与器件领域中具有创新性的科研成果和应用技术进展的论文、简报、综述和消息。
来稿可以涉及功能材料的制备、加工、性能和应用，以及功能器件的原理、工艺和性能等等，具体可以包括下列领域：
微电子机械系统（MEMS）
微电子和光电子材料与器件...
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主办单位：
中科院上海微系统与信息技术研究所
中国材料研究学会
期刊荣誉：
中国学术期刊综合评价数据库来源期刊
中国科技论文统计源期刊、中国科学引文数据库来源期刊
美国Ei,美国CA，英国SA，俄罗斯PЖ的文献源期刊
ISSN：
1007-4252
CN：
31-1708/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
200050
地址：
出版文献量（篇）
1638
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 电子陶瓷材料正由经验研究和实物展示向虚拟设计和测试转变,从材料到器件性能的计算机数字模拟和建模也应运而生.本文介绍了电子陶瓷材料领域技术数字模拟与建模的理论背景,着重讨论了有限元方法(FEM...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 在一个微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积系统中,测量了 CHF3、 C6H6及其混合气体放电的质谱和发射光谱图,分析了等离子体中主要基团的分布及其产生的途径,研究了放电功率和流量对主要基团...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 采用两种方法制备了 CoSnS2薄膜.在两步电沉积法中,先沉积 SnS薄膜,再在其上制备CoS沉积薄膜,最后进行退火处理形成厚度约为 1250nm的 CoSnS2薄膜.在三元共沉积法中,加入...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 采用热丝和射频等离子体辅助化学气相沉积方法(HF-PECVD),以单晶硅为衬底在低温(< 500℃)条件下沉积氮化硼(BN)薄膜材料.通过傅立叶变换红外光谱(FTIR)、 X射线衍射(XRD...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 实验研究了纳米粉体制备 8YSZ电解质的固相烧结过程.根据阿基米德原理测瓷体密度;通过测定烧结前后瓷片尺寸,求出烧结线收缩;采用四端电极法测瓷体的电导率;使用扫描电子显微镜(SEM)观测样品...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 在较低的衬底温度(260 0C)和不同氧分压下,采用射频溅射在(111)Si衬底上制备出了具有(100)择优取向的 LaNiO3薄膜. SEM分析表明薄膜具有光滑连续的表面和均匀的晶粒尺寸....
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 采用化学共沉淀法制备了超级电容器电极材料化学掺杂 Co的 MnO2电极,借助 XRD测试对电极材料进行了物理结构表征,表明掺 Co量影响材料的晶体结构和活性.电化学测试结果得出化学掺杂的配比...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 采用自蔓延法制备 ZrO2-Y2O3(YSZ)纳米粒子.研究了反应中柠檬酸与硝酸盐比例(c/n)对反应产物的影响以及对纳米晶粒尺寸的影响,并且探讨了分散剂的作用机理,在制备过程中添加分散剂磷...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 计算模拟了半导体材料 CdZnTe垂直布里奇曼法(CdZnTe-VBM)单晶体生长过程,分析了 炉膛温度梯度和坩埚移动速率对结晶界面形态和晶体内组份偏析的影响.计算结果表明炉膛温 度梯度和生...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 测试了采用 PECVD生长的氢化纳米硅(nc-Si:H)薄膜的内应力.利用 XRD、 Raman、AFM、HRTEM研究了nc-Si:H薄膜的微结构,用全场薄膜应力测试仪测量了 nc-Si:...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 在 Ar气氛中,SiC粉末分别在 Fe、 Co、 Fe:Co(1:1)的催化下,经一步反应制备了一维、二维和三维 Si基纳米线. SEM、 HRTEM、 EDX分析表明一维线状和二维网状 S...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 采用放电等离子烧结技术制备了新型 NdFeB磁体,研究了烧结工艺和热处理工艺对磁体的磁特性、尺寸精度及致密度的影响.同时利用 B-H回线仪、扫描电子显微镜对其磁特性、显微组织结构进行了分析测...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 异质外延法是目前制备新型 SOI材料的技术途径之一.采用低压化学气相沉积技术(LPCVD)在硅衬底上先外延γ-Al2O3绝缘单晶薄膜,制备出硅衬底上外延氧化物外延结构γ-Al2O3/Si(E...
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14. 复合光导层液晶光阀的研究刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 介绍了一种具有柱状结构的a-Si:H/nc-Si复合光导层的液晶光阀,复合光导层是通过热蒸发和等离子体辉光放电沉积方法,采用Al诱导a-Si:H制成的.经过测试,这种柱状结构薄膜具有电导各向...
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15. 光刻法制备聚合物/液晶光栅刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 将明胶涂覆在表面经过取向处理的带有 ITO电极的玻璃基板上,以紫外灯为光源,通过光掩模法,使明胶在光场的引发下发生光化学反应,样品显影刻蚀处理后呈栅状,将液晶注入光栅盒中,形成聚合物 /液晶...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 报导了一种新型静电驱动扭转梁大位移微机械光开关微动作器的模拟、设计和制作.模拟结果表明,该微动作器的第一模态频率远低于第二模态,镜子的位移由梁的扭转引起.在32.8V的电压驱动下,上电极的前...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 提出一种新的牺牲层工艺.先将阳极氧化生成的多孔硅在 300℃的氮气氛下进行退火以稳定其多孔结构,然后将其在 700℃下氧化成为具有多孔结构的二氧化硅.用氧化的多孔硅材料作为牺牲层材料,既可以...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 利用溶胶-凝胶的方法制备钛酸锶氧敏薄膜,掺杂不同含量的铁离子,并测试了不同氧分压、温度下薄膜的电阻.发现铁离子的含量在 20mol%～25mol%之间时,掺杂对钛酸锶电阻的降低有明显的影响,...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 制备了大尺寸 AlGaInP/GaAs SHBT和 DHBT,对其直流特性进行了测试,并分析了 AlGaInP/GaAs单异质结晶体管(SHBT)和双异质结晶体管(DHBT)的直流特性差异,...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 采用气相法对 PbTiO3陶瓷扩渗 Gd元素,经扫描电镜和 X射线能谱分析,证实 Gd元素已渗入到 PbTiO3陶瓷中,并使 PbTiO3陶瓷的导电性能和介电性能发生了十分显著的变化.经Gd...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 采用温压工艺与普通压制工艺制备粘结磁体,发现温压技术可以有效地提高粘结磁体的密度,改善磁体磁性能,且温压效果与温压温度的选择密切相关.通过对温压机理的分析,发现最佳温压温度由粘结剂的软化点、...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 用磁控溅射及光刻工艺制成了 5μ m× 5μ m 的 Co/Cu/FeNi三端结器件,测量了不同注入电流下样品的输出电压与外磁场的关系,发现其输出电压与外磁场的关系曲线表明样品具有自旋相关的...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 采用金属银(Ag)做为高反射镀膜材料,ZrO2介质膜作为与激光器端面的绝缘层和 Ag保护膜,在激光器后腔面实现了高反射涂层.经激光器光电特性测试表明,该高反射膜系能使激光器输出功率提高 60...
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刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 报道了一种可靠稳定且低接触电阻的 n型 GaN欧姆接触.首先在掺硅的 n型 GaN (3?10 18cm-3)蒸镀 Ti(30nm)/Al(500nm), 然后在氮气环境 530℃合金化 3...
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25. 智能凝胶微机械元件的设计研究刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 在研究 PAMPS凝胶、 PNIPAM凝胶合成实验和分析其体积变化的基础上,设计了几种微机械元件,说明了它们的工作原理,为基于智能凝胶的微机械元件的设计做了一些工作.
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26. 压电变压器的研究进展刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 压电变压器利用压电陶瓷材料自身的压电和逆压电效应来实现升降压,同传统的电磁变压器相比较,具有体积小、无电磁污染、升压比随工作频率和阻抗变化的特点.本文详细评述了用于压电变压器的铁电陶瓷材料的...
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27. 垂直沟道器件的研究与进展刊名： 功能材料与器件学报发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 介绍了垂直沟道器件的常见结构和工艺,分析了垂直沟道器件的最新进展以及垂直沟道器件制作工艺中的最新技术,详细讨论了垂直沟道器件的性能,并分析了垂直沟道器件的优点以及存在的问题.
功能材料与器件学报基本信息
| 刊名 | 功能材料与器件学报 | 主编 | 邹世昌 |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中科院上海微系统与信息技术研究所 中国材料研究学会 | 主管单位 | 中国科学院 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1007-4252 | CN | 31-1708/TB |
| 邮编 | 200050 | 电子邮箱 | jfmd@mail.sim.ac.cn |
| 电话 | 021-62511070 | 网址 | www.jfmd.cn |
| 地址 | 上海市长宁路865号 |
功能材料与器件学报评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 中国学术期刊综合评价数据库来源期刊 |
| 2. | 中国科技论文统计源期刊、中国科学引文数据库来源期刊 |
| 3. | 美国Ei,美国CA，英国SA，俄罗斯PЖ的文献源期刊 |
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