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微纳电子技术期刊
出版文献量（篇）
3266
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名： 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
石家庄市179信箱46分箱
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3266
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  • 31. 电容式压力微传感器的研制
    作者： 刘景春 李玉琮 邓永和
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  37-38
    摘要： 介绍了一种经特殊工艺处理的电容式压力微传感器,分析和论证了其结构设计、工作原理和测量电路.
  • 32. 超大规模集成电路中低介电常数薄膜的制备与检测技术
    作者： 杨银堂 汪家友 温梁
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  39-43
    摘要： 近年来,低介电常数材料在IC工业中日益受到人们广泛关注,为了降低信号传输延迟和串扰以及由于介电损失而导致的功耗增加,采用低介电常数材料做层间介质是必要的.本文介绍了有关低介电常数材料薄膜的制...
  • 33. DSP实现双面光刻底面对准系统中的图像采集与处理
    作者： 柯学 罗正全
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  44-46
    摘要： 在简述双面光刻对准系统原理的基础上,着重论述了如何利用DSP进行图像采集与处理,以实现底面曝光的高精度对准.
  • 34. 任晓兵教授发现具有巨大电致变形效应的无铅压电材料
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  46
    摘要：
  • 35. 江雷小组研制出纳米"超级开关"材料;纳米研究遭遇安全"黄灯";日本力促纳米技术转化产品
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年3期
    页码:  47
    摘要：
  • 36. 硫系化合物随机存储器研究进展
    作者： 刘卫丽 刘波 宋志棠 封松林
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年4期
    页码:  1-7,39
    摘要： 系统地介绍了硫系化合物随机存储器(C-RAM)的原理、相关材料、研究现状、特点及今后的发展趋势以及中科院上海微系统与信息技术研究所在C-RAM方面的研究进展.C-RAM由于具有高速读取、高可...
  • 37. InP基应变自组装纳米材料及其光电子器件研究进展
    作者： 刘俊歧 王占国 程伟明 车晓玲 陈涌海 雷文 黄秀颀
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年4期
    页码:  8-17
    摘要： 半导体低维结构材料,如量子线(点)材料,由于其特殊的电子结构,在新一代光电子、微电子器件中有着重要的应用价值.本文对应变自组装InP基量子线(点)材料的生长制备、光学和电学特性及其在半导体激...
  • 38. 锑掺杂二氧化锡薄膜的导电机理及其理论电导率
    作者： 唐朝波 唐谟堂 张保平 杨声海 杨建广
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年4期
    页码:  18-21
    摘要： 归纳总结了锑掺杂二氧化锡(ATO)的导电机理.晶格的氧缺位、5价Sb杂质在SnO2禁带形成施主能级并向导带提供n型载流子是ATO导电的两种主要机理.从材料的电导率公式出发,定性分析了二氧化锡...
  • 39. 笼形团簇材料
    作者： 张臣
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年4期
    页码:  22-26
    摘要： 近年来,在原子、分子和凝聚态两层次之间出现了原子团簇这一重要的学科领域.本文介绍了笼形团簇材料的国内外最新研究进展,分析了笼形团簇材料的研究现状,并对其未来的发展方向进行了展望.
  • 40. 用Az4620制作微电镀模的工艺研究
    作者： 孙道恒 王明亮 郑剑铭
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年4期
    页码:  27-31
    摘要： 介绍了利用AZ4620光刻胶制作截面为5μm×5μm微电镀模的工艺流程,详细说明了工艺流程中影响实验结果的实验参数以及实验参数的优化方法,并用实验结果说明了应该避免的实验误区.最后根据优化后...
  • 41. ArchitectTM--MEM5系统级仿真及工艺分析工具
    作者： M.G.da Silva 刘世明
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年4期
    页码:  32-39
    摘要： 主要介绍了一种全新的设计方法,在标准的EDA设计环境里、采用可重复使用的MEMS设计库单元,使设计者能够对MEMS产品的工艺可行性作分析.这种设计方法是MEMS开发单位采用"面向加工的设计方...
  • 42. 共聚焦成像技术在生物芯片检测中的应用
    作者： 严伟 罗正全 胡松 赵立新
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年4期
    页码:  40-41,45
    摘要： 共聚焦成像技术广泛应用于采集精细的荧光图像,在生物芯片技术领域,共聚焦成像技术用于生物芯片检测,能显著减少样本点以外光的收集率,明显降低背景噪声,增大信噪比.与CCD成像技术相比,共聚焦成像...
  • 43. GaAs MMIC通孔破裂的应力分析
    作者： 蒋幼泉 赵霞 陈传荣
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年4期
    页码:  42-45
    摘要： 就GaAs MMIC中器件通孔的应力分布、受力结构和应力来源展开讨论,得出了应力聚集于通孔边缘和圆形通孔具有最强受力能力的结论,并提出了降低应力的解决方案.
  • 44. 国外半导体制造设备公司最新动态
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年4期
    页码:  46-48
    摘要：
  • 45. 东芝采用90nm处理技术使NAND闪存容量达到4GB水平
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年4期
    页码:  48
    摘要：
  • 46. 微器件的热学加工技术研究与应用
    作者： 刘静 白晓丹
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年5期
    页码:  1-12
    摘要： 归纳和总结了微系统热学加工技术方面的最新研究进展,着重讨论从材料的热学性质出发,实现微/纳电子机械系统元件制造的若干新颖、低成本的方法,并特别介绍其中一些典型应用情况.通过分析表明,随着对微...
  • 47. LIGA工艺的发展及应用
    作者： 孔祥东 宋会英 张玉林
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年5期
    页码:  13-18,27
    摘要： 介绍了LIGA(lithographie,galvanoformung and abformung)技术以及在此基础上开发出来的准LIGA(like-LIGA)技术、SLIGA(sacnfi...
  • 48. 全光网络中的MEMS光开关研究新进展
    作者： 万江文 刘梅刚
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年5期
    页码:  19-23
    摘要： 光开关是未来全光网络中是目前最有前景的光器件制作技术之一.本文简要论述了MEMS光开关与其他类型光开关的区别,介绍了MEMS光开关的特性,并分别就二维、三维及最近提出的一维MEMS光开关进行...
  • 49. 一种串联RF MEMS开关的隔离度补偿措施
    作者： 吕苗 顾洪明 高葆新
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年5期
    页码:  24-27
    摘要： 提出了采用陷波电路结构来补偿串联RF MEMS开关断开时的耦合电容,提高其隔离度的一种方法.理论分析显示,采用这种方法,在2～5 GHz的频率范围内,可以使开关的隔离度最多提高15.6dB,...
  • 50. 基于MEMS技术的微流体混合器及相关技术
    作者： 孙长敬 褚家如
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年5期
    页码:  28-32
    摘要： 介绍了基于MEMS技术的微流体混合器及相关技术,给出了各种微流体混合器的结构、原理和特点,同时对微管道中流体混合的仿真、实验技术以及微管道中微量流体混合程度的评价方法等作了概述.
  • 51. 基于MEMS的微泵研究进展
    作者： 苏宇锋 陈文元
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年5期
    页码:  33-40,55
    摘要： 基于微加工技术的微流体系统是微机电系统(MEMS)的一个重要分支,可广泛应用于航空航天、生物、医学、化工、电子等领域.本文主要综述了微流体系统中的微型泵结构、工作原理以及国内外研究现状.
  • 52. 微泵的结构与流体分析
    作者： 康春霞 贾建援 黄新波
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年5期
    页码:  41-44
    摘要： 利用扩散阀/喷嘴的流体特性设计了一种无活动阀压电式微泵;应用小挠度弹性弯曲理论,导出圆形压电复合层薄板的弹性曲面微分方程和复合层薄板的中性面位置方程;应用压电理论导出压电薄膜的边缘电场分布;...
  • 53. 硅热流量传感器及其封装
    作者： 秦明 高冬晖
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年5期
    页码:  45-51
    摘要： 在介绍硅热流量传感器的工作原理、工艺方法的基础上,重点给出了目前硅热流量传感器特别是风速计的几种常用结构以及相应的封装形式,并对每种结构及其封装形式的优缺点进行了分析.最后对硅热流量传感器封...
  • 54. RF MEMS开关及其抗连续波烧毁功率的测试与分析
    作者： 吕苗 杨文钊
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年5期
    页码:  52-55
    摘要： MEMS开关的功率能力是MEMS开关使用中必须考虑的一个指标,本文测试了我所研制的RF MEMS开关的抗连续波烧毁功率性能,其抗连续波烧毁功率达到35.1dBm.解剖分析了烧毁样品,对功率烧...
  • 55. 山东大学孟堯微电子研发中心
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年5期
    页码:  56-56
    摘要：
  • 56. 量子点在生命科学中的应用及其进展
    作者： 牟颖 王楠 金钦汉
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年6期
    页码:  1-7
    摘要： 量子点因其独特的光学和电子学性质而具有很高的实用价值.本文概述了量子点的特性和制备方法,着重阐述了其在生命科学,尤其是免疫生物学和临床检验学中的应用进展,并对其发展进行了展望.
  • 57. 光子晶体与光子晶体有源器件
    作者： 张瑞君
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年6期
    页码:  8-13,22
    摘要： 光子晶体由于其优越特性而有极好的应用前景,不仅可使光通信领域产生新的变革,同时将对光电子领域及其他相关产业产生巨大的影响,并越来越受到广泛关注.本文介绍了光子晶体及根据其原理开发的光子晶体有...
  • 58. 纳米电子器件与纳米电子技术
    作者： 史友进 沈海军
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年6期
    页码:  14-19
    摘要： 介绍了纳米电子器件与纳米电子技术的概念以及纳米电子器件的分类;综述了现有的光刻、外延、SPM、特种精细加工等相关的纳米电子器件制备与加工技术;阐述了纳米电子技术中急需解决的若干关键问题.
  • 59. 量子因特
    作者： 张跃
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年6期
    页码:  20-22
    摘要： 近年来研究人员已经把量子力学的原理与计算机相结合,提出了量子计算机概念和量子因特理论.本文编译指出了量子因特的重要基本组成部分之一是量子远程传输;介绍了几个利用光子对、光子束以及原子对等在实...
  • 60. 热压处理对TiO2溶胶光电催化活性的影响
    作者： 李平 贾振斌 魏雨 鲁彬
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2004年6期
    页码:  23-25,37
    摘要： 利用粒度分析仪、TEM、XRD等表征手段,研究了溶胶-凝胶法制得的纳米TiO2溶胶经热压处理后,纳米TiO2的晶粒尺寸和晶型对其薄膜的光电催化活性的影响.结果发现,经过200℃热压处理的纳米...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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