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微纳电子技术2011年第10期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
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16974
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1. 纳米电子技术的发展与展望刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 纳米电子技术研究是提升国家核心竞争力和抢占科技制高点的战略选择,是我国实现信息科学技术跨越发展的主要途径.阐述了纳米电子技术研究的重要地位,梳理了纳米电子技术的主要研究方向和关键技术,重点研...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 简要介绍了垂直双扩散功率场效应晶体管(VDMOS)的研究现状和发展历史.针对功率VDMOS器件击穿电压和导通电阻之间存在的矛盾,重点介绍了几种新型器件结构(包括沟槽栅VDMOS、超结VDMO...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 利用Gaussion98对C20分子及C20±离子进行了结构优化、频率计算,得到了没有虚频的稳定结构.在此基础上对C20分子及C20±离子的电子结构和振动光谱进行了比较分析.自然键轨道理论(...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 利用Airy函数代换与传输矩阵方法精确计算了有外加偏压下电子在共振声子太赫兹量子级联激光器有源区单个周期内的透射系数与波函数,得到了不同偏压下的电子波函数分布以及准束缚态能级位置与外加偏压的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 气相色谱分离柱是色谱系统的重要组件之一,采用MEMS技术制作的微型气相色谱分离柱与传统分离柱相比,因其具有较小的平面二维结构和快速分离混合物的能力而备受青睐.对MEMS微型气相色谱分离柱结构...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 在交流电渗流(ACEO)泵的研究中,一般采用Debye-Huckel(D-H)线性近似法.但该方法只在电压很小时才成立,这和实际情况不符;此外,交流电渗流泵在大电压、高频率下的反向流现象也不...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 通过在共面波导传输线上周期性地加载分布电容,外加驱动电压改变电容值,实现分布式MEMS传输线移相器.从三个方面优化了五位分布式MEMS传输线移相器的设计:一是分别设计了11.25°和22.5...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 对封闭O型MEMS平面微弹簧建立力学分析模型,用卡氏第二定律和胡克定律推导出这种平面微弹簧弹性系数的计算公式,并用ANSYS进行有限元仿真,仿真结果表明,两者的相对误差低于2％.在计算公式和...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 针对复合板结构中弯曲板波谐振频率计算相对复杂的问题,建立并分析了基于弯曲板波延迟线振荡器的理论模型,计算得到A0(0阶反对称)模式板波的谐振频率为41 MHz;为了验证理论分析的结果,利用有...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 采用离子交换法去除ULSI/GLSI CMP浆料SiO2水溶胶中的Na+.介绍了微电子专用CMP SiO2水溶胶纯化的研究现状.实验分析了SiO2水溶胶中Na+与阳离子树脂的交换机理,硅溶胶...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 利用普通的紫外光刻、等离子体刻蚀、剥离和薄膜技术,在生物和半导体技术兼容的柔性聚对二甲苯-C基材上制作出了三维纳米间隙结构.室温下,使用介质电泳的方法对制作的纳米间隙进行材料集成实验.在间距...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年10期页码:摘要： 对于厚铝芯片的制造工艺,由于光刻对准标记上覆盖了厚的铝层,对准标记形貌轮廓会变得模糊,这会导致光刻对准出现困难,对偏的问题将变得常见.为了解决此问题,提出了多种改善方法,首先采用叠加标记法,...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
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| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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