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微纳电子技术2014年第4期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年4期页码:摘要： 从硅纳米管和纳米线场效应晶体管的结构出发,先用Silvaco公司的TCAD仿真软件模拟出硅纳米管和纳米线的电势分布,然后根据电势分布依次求出两种器件的有效哈密顿量、非平衡格林函数及自能函数和...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年4期页码:摘要： 分析了InGaAs/InP pin光电探测器暗电流和响应度的影响因素,并对MOCVD外延工艺以及器件结构进行优化,从而提高器件响应度和降低暗电流.采用低压金属有机化学气相沉积设备(LP-MO...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年4期页码:摘要： 以天然鳞片石墨为原料,采用改进的Hummers法并结合水热法制备TiO2-石墨烯(TiO2-rGO)复合光催化材料.采用TEM,XRD,Raman,FTIR和UV-VIS DRS等方法对其特...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年4期页码:摘要： 利用基于密度泛函理论(DFT)的第一性原理研究了O原子与Pd掺杂前后ZnO (0001)表面的相互作用机理.通过对模型表面六个高对称位吸附能的计算,发现O原子最有可能吸附于Pd掺杂表面的间隙...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年4期页码:摘要： 针对磁性液体薄膜在MEMS加工领域作为光刻掩膜的应用,为获得磁性液体薄膜在磁场作用下的微形变规律,设计了一套磁场下磁性液体薄膜微形变的磁控测试实验台,并从磁场强度、磁性液体种类、磁性液体中磁...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年4期页码:摘要： 流体壁面剪应力微传感器的精确标定是进行流动测量的基础.分别采用自重加载、离心加载和风洞吹风三种不同方法,对基于电容检测原理的浮动单元剪应力微传感器进行标定与实验研究.对比了三种实验方法和标定...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年4期页码:摘要： 从传感器的受力结构、能量转化结构和金属引线三个方面对SOI压阻式压力传感器芯片进行高温设计,计算出每个因素所造成的影响并与外部气压对传感器造成的影响进行对比,并给出了压阻的工艺尺寸和掺杂浓度...
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8. 铜辅助单步化学刻蚀多晶硅刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年4期页码:摘要： 介绍了一种用铜作催化剂,辅助单步湿法刻蚀多晶硅片的工艺.该方法具有成本低廉和操作简易的特点.系统研究了反应物浓度和温度对刻蚀速率以及刻蚀后硅片表面形貌的影响,并据此通过调节反应物浓度CHF∶...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年4期页码:摘要： 提出了一种基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜的软模压印制作微透镜的方法.首先,采用具有钝化层的普通硅片作为基底加工出PDMS薄膜;然后,将薄膜粘于刻有对应孔径的硅模板上,薄膜在负压作用下产生...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年4期页码:摘要： 研究了三种不同稀释倍数的弱碱性铜粗抛液,原液采用商用FA/O型铜抛光液,稀释倍数分别为1倍、3倍和5倍.基于化学机械抛光(CMP)作用机理,在相同工艺条件下分析了三种粗抛液对铜膜的平均去除速...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年4期页码:摘要： 研究了聚一氯对二甲苯(parylene-C,PC)膜微柱阵列结构的制备及其对MC3T3-E1小鼠成骨细胞生长铺展的影响.在硅基微柱阵列结构表面上沉积聚对二甲苯得到的PC膜微柱阵列结构能促进细...
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12. 国际视点刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年4期页码:摘要：
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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