铜辅助单步化学刻蚀多晶硅

• 作者: 吴仕梁 吴小山 张凤鸣 王伟 王申 虞栋 郦莉
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米结构 金属辅助化学刻蚀 铜催化 表面减反 多晶硅基底
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 249-256
• 分类号: TN305.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2014.04.008

摘要

介绍了一种用铜作催化剂,辅助单步湿法刻蚀多晶硅片的工艺.该方法具有成本低廉和操作简易的特点.系统研究了反应物浓度和温度对刻蚀速率以及刻蚀后硅片表面形貌的影响,并据此通过调节反应物浓度CHF∶CH2O2 =6 mol/L∶2 mol/L,CCu(NO3)2=0.08 mol/L以及反应温度至60℃,得出了最佳的刻蚀参数配比.制备出的多晶硅纳米结构表面,平均反射率在宽波段内降低到5％,陷光减反作用明显.可引用空穴注入模型解释不同反应物浓度下硅片表面形貌的形成机理.通过公式拟合与实验结果的对比,提出了反应活化能以及铜与硅片的接触面积是影响刻蚀过程的内在因素.