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微纳电子技术2018年第5期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 采用CMOS兼容工艺,在绝缘体上硅(SOI)晶圆片上制备了高性能波导集成型锗pin光电探测器.该光电探测器锗区长度为15μm,宽度分别为1,2,3,4和5μm.光波导与探测器间的光耦合为倏逝...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 利用化学还原法制备了Ni纳米线后经过高温氧化得到了Ni/NiO核壳纳米线,最后利用半导体工艺制备出单根Ni/NiO核壳纳米线器件,并对其光电特性进行了测试分析.I-V曲线测试结果表明器件具有...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 对高热导率纳米银胶进行了性能分析,并与Au80Sn20焊料进行了对比;将其应用于一大功率器件,通过对粘结芯片进行剪切力测试,验证了纳米银胶具有可靠的连接强度;调整粘结样品的键合参数,并对键合...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 实现痕量气体分子检测的前提是实现气体的高效富集,针对这个问题给出了微流控芯片上柱状预浓缩器的结构设计与仿真数据.在气相微流体研究的基础上,基于微电子机械系统(MEMS)加工技术,设计了圆形、...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 设计了一款含有一个非谐振节点的W波段矩形波导带通滤波器,实现了其传输函数中传输零点可任意放置的功能.滤波器包括一个T型结波导结构、两个TE101模谐振腔和四对电感膜片.其中T型结波导结构中连...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 无源压力传感器在一些极端环境下有着广阔的应用前景.提出了一种新型无源LC薄膜高温压力传感器,在传统的平面螺旋电感基础上加入了多组叉指电容.传感器的基底材料采用的是高温共烧陶瓷(HTCC),通...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 为减小外部环境的振动和冲击对微惯性测量单元(MIMU)的输出的影响,基于减振器六种隔振模式理论和单自由度系统无阻尼自由振动原理,选择合适的隔振模式并分析了MIMU橡胶减振器谐振频率的影响因素...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 利用绝缘体上硅(SOI)技术研制了一种可以用于飞行高度测量、气象环境监测和医疗等领域的高精度微电子机械系统(MEMS)电容式压力传感器.利用有限元分析软件对传感器敏感结构进行了结构建模、静力...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 基于微电子机械系统(MEMS)技术的环形、矩形以及I2形谐振器由于具有较高的谐振频率与品质因数等优点,可作为原子力显微镜(AFM)探针用于物理表面高速成像实验.在结构尺寸近似的情况下,对影响...
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10. 高灵敏低噪声光束偏转检测系统设计刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 为了进一步提高自制超高真空室温非接触式原子力显微镜(NC-AFM)的检测灵敏度和获得材料表面更高分辨率的原子图像,在比较了原子力显微镜探针振动位移检测的三种方法的基础上,重点研究了光束偏转检...
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11. 光MEMS芯片驱动结构自对准技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 针对垂直梳齿静电驱动微光机电系统(MOEMS)芯片制备工艺中,用于静电驱动的固定梳齿和可动梳齿难以精确对准的问题,通过开发一种自对准工艺技术,利用一次光刻和预掩蔽层梳齿定位以及连续两次深反应...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 利用TracePro软件设计微流控液滴检测光学系统,构建系统组件模型,对不同尺寸和形状的液滴与气泡通过检测窗口所引起的光强信号变化进行仿真,分析光强信号与液滴尺寸和形状之间的关系.同时,搭建...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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