光MEMS芯片驱动结构自对准技术

• 作者: 张晓磊 徐永青 杜妙璇
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光通信 微光机电系统(MOEMS) 垂直梳齿驱动 微镜 自对准技术
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 366-370
• 页数: 5页
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2018.05.011

摘要

针对垂直梳齿静电驱动微光机电系统(MOEMS)芯片制备工艺中,用于静电驱动的固定梳齿和可动梳齿难以精确对准的问题,通过开发一种自对准工艺技术,利用一次光刻和预掩蔽层梳齿定位以及连续两次深反应离子刻蚀(DRIE)工艺,可成功实现固定梳齿和可动梳齿的精确定位.基于该技术制备出的静电梳齿驱动光可调衰减器(VOA)芯片和光开关(OSW)芯片具有良好的光学性能,两款芯片的微镜可分别实现静电驱动电压6和55 V下0.5°及3.0°的角度偏转.结果表明,应用该自对准工艺,使易于加工、低成本且可批量化的芯片制备成为可能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐永青	中国电子科技集团公司第十三研究所	11	118	5.0	10.0
2	张晓磊	中国电子科技集团公司第十三研究所	1	0	0.0	0.0
3	杜妙璇	中国电子科技集团公司第十三研究所	1	0	0.0	0.0