微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
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3266
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  • 作者: 王淑华
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年6期
    页码:  381-387,421
    摘要: 概述了太赫兹(THz)InP技术的优势、应用前景及美国的发展规划.重点对国外THz InP高电子迁移率晶体管(HEMT)和异质结双极晶体管(HBT)的技术进展和突破进行了详细阐述,其中国外H...
  • 作者: 冯源 岳光礼 张昕 李杨 李洋 王志伟 王霞 谢检来 郝永芹
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年6期
    页码:  388-396,407
    摘要: 介绍了分布反馈半导体激光器(DFB-LD)的工作原理,分析了不同的光栅阶数及耦合机制对DFB-LD激光输出特性的影响.重点评述了大功率DFB-LD研究发展状况,从结构特性及技术手段等方面详细...
  • 作者: 周广刚 姚江峰 孙睿 相文峰 董子斌 赵嵩卿 陈少华
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年6期
    页码:  397-400,432
    摘要: 通过液相还原法制备了Cu2O颗粒,利用扫描电子显微镜(SEM)以及 X射线衍射(XRD)等手段对粒径的大小、微结构以及组分进行了测试和分析.测试结果表明:Cu2O颗粒为组分单一、表面含有大量...
  • 作者: 庞浩 廖兵 李桃 汪慧怡 罗业燊 雍奇文 韦代东
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年6期
    页码:  401-407
    摘要: 为了减小纳米压印光刻胶与模板间的接触黏附力,合成了一种无氟抗粘巯基-烯纳米压印光刻胶.以Α,Α,Α′-三(4-羟苯基)-1-乙基-4-异丙苯(TPA)和溴丙烯为原料,采用相转移催化法制备了一...
  • 作者: 李志强 李鑫 杨娇燕 梁庭 熊继军 王文涛 赵丹 雷程
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年6期
    页码:  408-414
    摘要: 设计并制备了一种基于绝缘体上硅(SOI)材料、量程为5 Pa~1.8 MPa的压阻式压力传感器.在设计方面,通过有限元分析软件和经典理论相结合分析敏感膜片的力学性能和电学性能,得到敏感膜片的...
  • 作者: 唐军 张成飞 郭慧婷 钱坤
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年6期
    页码:  415-421
    摘要: 温度变化会在氧化硅光波导谐振腔中引起极化误差,该极化误差所引起的偏振波动噪声是限制谐振式集成光学陀螺长期稳定性的主要因素.通过对反射式和透射式两种结构的谐振腔分别进行主动温控实验,成功测得了...
  • 作者: 卞玉民 杨拥军 鲁磊
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年6期
    页码:  422-427
    摘要: 基于半导体硅的压阻效应,研制了一种 MEMS大量程压力传感器.为了实现大量程压力测量,采用了不锈钢材质制作了压力敏感膜片.利用有限元分析软件对传感器敏感芯体进行了结构建模仿真分析和优化设计....
  • 作者: 丑修建 乔骁骏 何剑 孙雅薇 石树正 穆继亮 胡磊
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年6期
    页码:  428-432
    摘要: 宽禁带半导体TiN作为扩散阻挡层以及场效应管的门电极在集成电路中发挥重要作用.通过原子层沉积(atomic layer deposition,ALD)技术沉积不同循环次数TiN薄膜,采用四探...
  • 作者: 刘国瑞 刘玉岭 洪姣 牛新环
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年6期
    页码:  433-437
    摘要: 主要研究了硅衬底碱性精抛液中表面活性剂对硅衬底表面粗糙度、表面缺陷以及抛光雾的影响.实验结果表明,随着硅衬底精抛液中表面活性剂体积分数由0%增加到1%,表面粗糙度和表面缺陷数量都呈现出迅速降...
  • 作者: 周伟民 夏张文 王涵 闵国全
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年6期
    页码:  438-449
    摘要: 仿生增材制造(仿生3D打印)是指受到生物结构和功能的启发而设计出具有仿生结构和功能的三维图形的一种新技术,采用增材制造工艺加工而成的构件具有特殊的仿生性能.结合现有的研究进展,从形态仿生、结...
  • 作者: 张胜男 徐永宽 王健 程红娟 练小正 陈建丽 齐海涛
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年6期
    页码:  450-454
    摘要: 针对β-Ga2O3单晶易解理的特性,研究了晶体形状对其(100)主解理面的机械剥离影响.结果表明,棱角较为平缓的体单晶机械剥离时容易出现碎裂,而棱角尖锐的体单晶极易实现机械剥离,并且成功剥离...
  • 作者: 杨琳琳 王永刚 王玉江 韩高荣
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年6期
    页码:  455-459
    摘要: 以MnCl2,MnC2O4和Na2WO4为反应前驱体,以KOH为矿化剂,在没有采用任何表面活性剂和模板的条件下,采用水热法成功制备出 MnWO4晶体.用X射线衍射(XRD)和透射电子显微镜(...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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