微纳电子技术期刊
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
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  • 作者: 李亚云 王新远 秦文峰 符佳伟 艾璇
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年10期
    页码:  804-809,854
    摘要: 可穿戴设备的兴起对传感器的灵敏度和重复性等性能提出了更高的要求,为此,制备一种工艺简单、灵敏度高、应变范围宽的柔性传感器就显得尤为重要.通过刮涂法在聚二甲基硅氧烷(PDMS)上涂覆了石墨烯(...
  • 作者: 孙凯欣 范一强 马秀清
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年10期
    页码:  810-817,822
    摘要: 磁场控制微流体具有诸多优点,如设计简单、易于操作、对温度和pH值等不敏感,在微流控芯片中具有较好的发展前景.在微流控芯片中磁场主要是通过永磁体、电磁体和软磁体来产生,对这三种磁场产生方式进行...
  • 作者: 张舒婷 李敏 王浚宇 郑国庆
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年10期
    页码:  818-822
    摘要: 通过水热法在氧化铟锡(ITO)玻璃衬底上制备出不同退火温度的ZnO纳米棒,利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、光谱响应曲线和Ⅰ-Ⅴ特性曲线对不同退火温度的ZnO纳米棒的表面形...
  • 作者: 朱成瑶 王万杰 王园园
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年10期
    页码:  823-834
    摘要: 近年来,二维非层状材料由于其原子级厚度、大比表面积和高活性位点数量多等结构特点而受到广泛关注.简单介绍了二维非层状材料,重点综述了表面氧化法、气相沉积法、自组装法、模板辅助合成法和溶剂热法等...
  • 作者: 刘杰 姜兵 张建平 曹家凯 李晓冬 胡世成
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年10期
    页码:  835-840
    摘要: 首先将超细硅微粉中的铀(U6+)元素分散在酸性浆料中;然后使用SiO2气凝胶和蜂窝陶瓷复合介孔吸附装置对其进行吸附完成材料精选与提纯,使超细硅微粉中的铀(U)元素总量降低;最后在无污染后加工...
  • 作者: 伍月娜 周勤勤 王忆 王梦霞
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年10期
    页码:  841-848
    摘要: 采用溶胶-凝胶法制备了一种Ca0.5Mo0.96O4∶0.25Eu3+、0.04Si4+、0.25Li+红色荧光粉,并使用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和荧光光谱仪对其结构、...
  • 作者: 史红卫 杨洪权 范艾杰 赵见国
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年10期
    页码:  849-854
    摘要: 利用铟(In)表面活性剂辅助Mg-δ掺杂技术和金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术,在r面蓝宝石衬底上成功生长了高空穴浓度的非极性a面p型Al0.6Ga0.4N/GaN超晶格样品.分别使用...
  • 作者: 赵正平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年11期
    页码:  857-864
    摘要: 集成电路技术进入后摩尔时代后,自下而上发展的分子电子学碳基纳电子的技术突破引起人们的高度关注.目前碳基纳电子的发展基于一维的碳纳米管和二维的石墨烯两种碳基材料.介绍了碳纳米管电子学、射频碳纳...
  • 作者: 吴翔 宋标 屈小勇 张博 郭永刚 高嘉庆
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年11期
    页码:  865-870
    摘要: 利用Silvaco-TCAD半导体仿真软件模拟并分析了n型叉指背接触(IBC)太阳电池背面结构尺寸参数对电池短路电流密度、开路电压、填充因子及转换效率的影响,并进行实验验证.实验结果表明,当...
  • 作者: 李永杰 杨朴 杨泽燕 王子佳 邢颖
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年11期
    页码:  871-876
    摘要: 通过化学气相输运法制备了微米尺度的准一维超导体TaSe3,利用扫描电子显微镜(SEM)和能谱仪(EDS)对样品的形貌和元素组成进行了表征,并使用物性测量系统(PPMS)进行了系统的低温强磁场...
  • 作者: 任英建 何素芹 刘文涛 刘浩 朱诚身 高旭静 黄淼铭
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年11期
    页码:  877-888,904
    摘要: 作为一种新型的p型有机半导体材料,红荧烯由于其出色的光电性能而显示出在有机光电器件中巨大的应用潜力,日益受到关注.首先介绍了红荧烯的性质,主要包括红荧烯的结构、构象、衍生物及晶系等.接着,分...
  • 作者: 刘瑞 张众贺 张斌珍 段俊萍
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年11期
    页码:  889-893
    摘要: 设计了一款用于5G毫米波波段通信的柔性天线,其具有结构紧凑、质量轻、机械性能好、可共形的特点.该天线以柔性材料聚二甲基硅氧烷(PDMS)为基底、以金属铜作为接地板和辐射贴片的材料,利用有限元...
  • 作者: 张文惠 杜帅航 沈超 王开松 许宁
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年11期
    页码:  894-898
    摘要: 采用溶剂热法制备了不同形貌的In2O3纳米材料,利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对样品进行了表征和分析,并研究了冰醋酸的添加量对In2 O3传感器气敏性能的影响.研究结果...
  • 作者: 卢忠柏 董春法 黄磊
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年11期
    页码:  899-904
    摘要: 以聚乙烯醇(PVA)为保护剂、硝酸银溶液为前驱体、水合肼为还原剂,采用一步还原法制备了单分散的粒径大小均匀的银纳米粒子.利用紫外分光光度计、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和...
  • 作者: 司朝伟 宁瑾 杨富华 蔡萌 韩国威
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年11期
    页码:  905-910
    摘要: 提出了用氧化铟锡(ITO)作为掩膜对硅与玻璃的键合片进行深硅刻蚀的工艺.ITO薄膜采用直流溅射工艺常温生长,避免了传统等离子体化学气相沉积(PECVD)方式生长氧化硅掩膜高温对器件制备造成的...
  • 作者: 常诞 武兴盛 许军 金晨 马宗敏 魏久焱
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年11期
    页码:  911-917
    摘要: 原子力显微镜(AFM)是一种表征样品表面的物理化学信息的精密仪器,高精度微动扫描平台是整个测量与表征系统的关键部件,其性能直接影响整个测量系统的性能,因此对原子力显微镜的高精度微动扫描平台进...
  • 作者: 吴文渊 李以贵 王欢 王洁
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年11期
    页码:  918-930,946
    摘要: 微针作为一种新型经皮给药器具,在生物医学领域中有广泛的应用需求.结合UV-LIGA加工技术、湿法刻蚀技术、干法刻蚀技术和表面微加工技术等传统微电子机械系统(MEMS)加工技术,以及最近出现的...
  • 作者: 区国权 周勤勤 杨涛 王忆 王振兴 王梦霞
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年11期
    页码:  931-938
    摘要: 着重研究了荧光粉沉淀、添加抗沉淀粉、胶水黏度以及离心工艺对封装灯珠光色性能的影响,设计出一种提高发光二极管(LED)光源光色一致性的可行性工艺方案.通过静置实验分析荧光粉预沉淀对光色性能的影...
  • 作者: 刘文楷 张静 李永亮 王瀚翔
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年11期
    页码:  939-946
    摘要: 指出锗硅高迁移率材料与高k栅介质之间界面接触存在问题,并介绍了能够优化界面的方法,即钝化工艺.总结了目前针对锗硅材料的四种钝化工艺,即硫化处理、氮化处理、硅帽层和氧化处理.与其他三种钝化工艺...
  • 作者: 赵正平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  949-962
    摘要: 4 GFET MMIC 大面积的CVD和外延石墨烯材料以及RF GFET的进展为石墨烯单片集成电路(MMIC)的发展奠定了材料和器件基础,由于石墨烯器件具有特有的双极性能、高电子迁移率、二...
  • 作者: 林振钰 张志杰 李岩峰 刘佳琪
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  963-969,1004
    摘要: 综述了薄膜热电偶的国内外研究进展与热点,对近年来薄膜热电偶在各领域的典型应用结果进行了总结.重点阐述了薄膜热电偶的敏感材料种类、制备工艺对其热电性能和高温稳定性的影响,讨论了国内外研究中退火...
  • 作者: 余兆安 姚志宏 董大年
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  970-975
    摘要: 基于激光光谱法的甲烷检测技术因具有检测速度快、选择性强和检测灵敏度高等优点而被广泛研究.然而,该技术的性能受到激光器的调谐速率、系统光路、光电流采样率和驱动电流幅度等众多因素的影响.为提高甲...
  • 作者: 柏任流 甄德帅 吴大旺 文志刚 张悦红 张杰 罗小虎 童叶翔
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  976-981,991
    摘要: 通过水热法和焙烧法成功地在碳纤维(CF)上制备了纳米棒状的铁酸镍(NiFe2O4),采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱(XPS)、N2等温吸附/脱附测试和...
  • 作者: 曹泷 杨辉 吴学红 周振华
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  982-991
    摘要: 综述了微纳结构沸腾表面的构建方法及强化性能最新研究进展,根据表面结构形式,将其分为纳米结构表面、微米结构表面、多孔表面和微/纳复合表面.纳米结构表面主要采用化学方法构建,可有效增强表面气泡成...
  • 作者: 朱静怡 丁馨 张晓渝 马锡英
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  992-997,1027
    摘要: 采用热蒸发法在Si片上沉积稀土元素Er掺杂的WSe2薄膜,研究了Er3+掺杂对WSe2薄膜表面形貌、晶体结构、光致发光光谱、光吸收特性和电学特性的影响.研究发现薄膜在(004)晶面呈柱状择优...
  • 作者: 保慧琴 张健 李婧
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  998-1004
    摘要: 基于V型电热执行器执行力大、输出位移小的特点,设计了单个V型电热执行器,对其温度分布和位移进行理论计算及ANSYS有限元分析,并利用柔性杠杆原理设计了具有位移放大结构的阵列式V型电热执行器,...
  • 作者: 王雅 谭秋林
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  1005-1011
    摘要: 采用导电聚苯胺/还原氧化石墨烯(PANI/RGO)纳米复合材料作为气体敏感层,通过场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)分析了敏感材料的表面形貌.并将这种复合纳米材料与近场通信(NFC)标签相...
  • 作者: 薛焱文 杨立伟 王冠亚 牛洁斌 刘宇 李海亮
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  1012-1016,1022
    摘要: 为了获得大高宽比的硅纳米结构,结合电子束光刻和等离子刻蚀方法制备厚度为5 nm/20 nm的Ti/Au微纳结构,然后以氢氟酸、去离子水和双氧水作为腐蚀液,利用各向异性金属辅助化学腐蚀制备大高...
  • 作者: 孙墨杰 张行 闫静茹 张振业 高欣蓓 宋晓晨
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  1017-1022
    摘要: 以六氯化钨为钨源、无水乙醇为溶剂,在较低的溶剂热合成温度(100℃)下,制备出具有分级结构的WO3.通过扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)研究了产物的形貌及物相组成,发现WO3呈...
  • 作者: 陈少华 孙睿 黄晓炜 相文峰
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2020年12期
    页码:  1023-1027
    摘要: 以二水合氯化铜为铜源、氢氧化钠为碱源、水合肼为还原剂,采用液相还原法制备出了分散性好、形貌规则的纯相八面体氧化亚铜(Cu2O)颗粒.通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和X射...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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