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微纳电子技术2020年第6期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要：
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 采用圆点传输线模型(CDTLM),对基于非磁性材料Cr/Au的垂直腔面发射激光器(VCSEL)n型GaAs欧姆接触系统进行了研究.实验结果表明,在400℃下退火35 s后,基于非磁性材料Cr...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 在不采用表面活性剂的情况下,通过简易的水热法合成了单斜相的BiVO4纳米结构.研究结果表明,pH值和反应时间是决定产物形貌和组成的两个重要因素.通过控制pH值,调控了BiVO4的形貌和制备过...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 采用热还原法、静电吸附法辅以加热固化法三步法制备了不同质量比的TiO2/g-C3N4复合纳米颗粒光催化剂.用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见漫反射光谱仪(UV-v...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 稀土离子被广泛应用于提高微波介质陶瓷的性能.稀土铌酸盐近年来被广泛研究,尤其是关于NdNbO4的单个离子掺杂改性.采用固相烧结法制备NdNb1-x(Ti05W0.5)xO4(x=0.05,0...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 提出了一种基于纳米森林的电容式湿度传感器.该湿度传感器利用等离子体技术制备的纳米森林作为湿度敏感层,湿度敏感范围为30％RH～90％RH,且在大于60％RH的湿度范围内灵敏度达到1.87 p...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 随着水下消声技术的发展,水下目标探测难度越来越大,单个水听器难以实现有效探测,需组成水听器阵列,而现有微电子机械系统(MEMS)矢量水听器存在粘接纤毛一致性相对较差、阵列应用相对困难等问题....
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 为了提高硅微谐振式加速度计(SRA)零偏温度稳定度和标度因子的温度系数,提出了一种温度标定补偿方法.首先,根据应力与谐振频率关系建立了考虑温度效应的硅微谐振式加速度计的数学模型.然后,通过安...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 由于某些阳离子的存在,端粒序列可以自发地形成鸟嘌呤-四联体(G-四联体).而G-四联体与人体的一些生理过程相关,因此可以作为一些肿瘤疾病的治疗靶标.提出了一种在限域空间内,利用固态纳米孔单分...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 研究了基于等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法的硅通孔(TSV)中(孔径5μm,深宽比10∶1)二氧化硅(SiO2)薄膜的生长技术.分析了低频功率、腔室压力和分步沉积次数对TSV深孔Si...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 对于晶圆级封装中硅基盖帽的制备工艺,采用NaOH腐蚀体系对Si<100>衬底进行湿法深腐蚀,研究了腐蚀液质量分数、添加剂添加量及腐蚀温度对腐蚀速率和形貌的影响.针对深腐蚀中掩膜易脱落的缺点,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 以碳化硅(SiC)晶片为加工对象,提出了双面化学机械抛光和单面化学机械抛光相结合的抛光方法.先在双面抛光机上对SiC晶片硅面和碳面同时进行化学机械抛光,然后采用单面抛光机对硅面进行化学机械抛...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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