基于纳米森林的电容式湿度传感器

• 作者: 毛海央 熊继军 石梦 陈大鹏 陈贵东
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 湿度传感器 纳米森林 聚酰亚胺 等离子体 非接触式传感
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 462-467
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2020.06.006

摘要

提出了一种基于纳米森林的电容式湿度传感器.该湿度传感器利用等离子体技术制备的纳米森林作为湿度敏感层,湿度敏感范围为30％RH～90％RH,且在大于60％RH的湿度范围内灵敏度达到1.87 pF/％RH,同时响应和恢复时间分别约为3.2s和6s.当传感器置于湿度环境中时,吸收在纳米森林表面并凝结在表面孔隙中的水分子导致纳米森林介电常数发生变化,进而引起电容值的改变.通过与聚酰亚胺湿度传感器对比,证明基于纳米森林结构的湿度传感器具有更加优异的湿敏性能.此外,该传感器还可作为湿度触发的非接触式开关,有望应用于电梯按键等公共设备上,用于抑制细菌传播.