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微纳电子技术2020年第7期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 为了明确10 kV碳化硅(SiC) pin二极管的正向导通优势,降低器件的比导通电阻,制备了三种10 kV SiC二极管样品——肖特基结、pn结和电导增强的pn结二极管.通过在多层SiC外延...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 由于宽带隙、不能吸收可见光以及光生载流子易复合等问题限制了二氧化钛(TiO2)在光催化领域的应用.为了提升TiO2光催化活性,首先通过电化学还原法将TiO2自掺杂成为黑色TiO2,将其吸收光...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 以醋酸锰和氯化铁为原料、醋酸钠为沉淀剂,采用共沉淀法制备无黏合剂的铁酸锰(MnFe2O4)电极.通过扫描电子显微镜(SEM)对材料的微观结构和形貌进行表征,MnFe2O4是纳米片和纳米线的复...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 针对航天一次可编程(OTP)存储器高可靠应用需求,基于电容结构和肖特基接触模型,分析得出α-SiGe∶H膜退化前电流传输机制较好地符合热电子发射-扩散模型,并计算得到零偏α-SiGe∶H/T...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 针对水下设备平台对于声压信号探测的需要,设计了一款微电子机械系统(MEMS)电容式声压水听器,通过理论分析和Comsol仿真分析,确定水听器敏感振动薄膜的半径为600 μm,膜厚为3μm,空...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 采用经典分子动力学方法研究了气体环境下水银液滴在带有梯度凹槽的石墨烯-铜复合基底上的自驱动特性.研究结果表明,氮气的存在会对液滴的自驱动产生明显的阻碍作用.随着氮气密度的增加,液滴驱动的最大...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 采用干法刻蚀和湿法腐蚀工艺刻蚀单晶(002〉晶向AlN薄膜.干法刻蚀中采用电感耦合等离子体(ICP)设备在不同功率和腔压等工艺参数以及不同气体体积流量下刻蚀单晶〈002〉晶向AlN薄膜,通过...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 金纳米簇(AuNC)具有超小的尺寸、良好的光稳定性和荧光性质,被认为是一种新型的重金属离子检测探针.以牛血清白蛋白第五组分(BSA V)为模板合成了AuNC,然后用镉离子(Cd2+)进行简单...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 基于玻璃通孔(TGV)技术的微电子机械系统(MEMS)封装可用于传感器无引线封装,研究了基于纳米玻璃粉末热回流工艺的新型TGV实现方法.采用球磨技术制备玻璃粉末,且通过研究干法和湿法球磨工艺...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 综述了在n/p型4H-SiC上同时形成欧姆接触技术的研究进展,包括欧姆接触理论、欧姆接触工艺及其优缺点以及热稳定性/可靠性等方面.重点介绍了基于Ni基金属的n/p型4H-SiC同时形成欧姆接...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 采用共溶胶-双水解和后退火的方法在SiO2载体上制备出超细AgO纳米颗粒,并通过扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、X射线衍射(XRD)和能量色散谱(EDS)对AgO/SiO...
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12. 6英寸高纯半绝缘SiC生长技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 利用自蔓延法进行SiC粉料合成、物理气相传输法进行6英寸(1英寸=2.54 cm)高纯半绝缘(HPSI) SiC晶体生长.采用高温下通入HC1和H2的方法,对SiC粉料合成及晶体生长所使用的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 基于韦森堡效应设计出一套微笔直写的实验系统,研究了结构参数和工艺参数对供液规律以及直写规律的影响,以提供一种低成本、结构简易和高精度的直写装置.通过对比实验获得相关直写的最优工艺参数.研究发...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
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| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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